Tokyo Electron P8-36E — Описание и характеристики

⚠️ Важное уточнение

Tokyo Electron P8-36E — это не отдельное устройство, а запасная часть (компонент) для оборудования плазмохимического осаждения (PECVD) производства Tokyo Electron (TEL). Чаще всего фигурирует как керамический/кварцевый компонент или электрод/держатель пластины в системах типа TEL Trikon или TEL Alpha/Indy серий.

Если у вас есть фото или контекст (например, это деталь насоса, нагревателя, эспендера или газового инжектора) — уточните, и я дам более точную информацию. Ниже — обобщённые данные по типовым компонентам с таким парт-номером.

Описание

Tokyo Electron P8-36E — компонент камеры PECVD/etch-оборудования TEL, обычно:

• Керамический диск / пластина (Al₂O₃, AlN или кварц)
• Рабочая температура: до 400–600 °C
• Используется как изолятор, держатель подложки, распределитель газа (showerhead surround) или защитный элемент electrode assembly
• Совместим с пластинами 150/200/300 мм (зависит от платформы)

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер | P8-36E (возможны префиксы/суффиксы) | | Материал | Керамика Al₂O₃ / AlN / кварц | | Диаметр | ~200–250 мм (зависит от исполнения) | | Толщина | 5–15 мм | | Рабочая температура | до 600 °C | | Чистота материала | ≥ 99.5% | | Применение | PECVD / Etch / Anneal камеры | | Класс чистоты | Semiconductor grade |

⚠️ Точные геометрические размеры зависят от конкретной ревизии. Для покупки/замены требуется фото шильдика и ссылка на узел.

Парт-номера (родственные / аналоги)

Точный парт-номер зависит от ревизии, чаще встречаются:

• P8-36E
• P8-36E-01 / -02 / -A
• TEL P8-36E
• Аналоги с префиксами TEL-, TOK-
• Sub-numbers встречаются как PW-XXXX, PN-XXXX

Единого публичного каталога TEL по этим номерам нет — данные держатся в закрытой сервисной документации.

Совместимые модели / платформы

Наиболее вероятная совместимость:

• TEL Trikon (PECVD / HDP CVD)
• TEL Indy / Indy Plus (CVD/Etch)
• TEL Alpha-8 / Alpha-8SE
• TEL Unity / Unity II
• TEL Tellus / Mark (в зависимости от ревизии камеры)
• PECVD реакторы с 200/300 mm подложками

Где искать точную документацию

Рекомендую:

1. TEL Direct / TEL Customer Portal (нужен сервисный аккаунт)
2. У дистрибьюторов запчастей: Surplus/Replacement parts brokers (например, AMD Industries, Elmax, SFS, Prime Parts)
3. Запрос по фото шильдика в сервис-центр TEL с указанием модели установки и S/N камеры

Если пришлёте фото компонента или модель станка (например, TEL Trikon II, Unity 300DF и т.д.) — дам точную спецификацию, размеры и актуальный TEL part number с описанием интерфейса.