Tokyo Electron PN-4-4

К сожалению, Tokyo Electron (TEL) PN-4-4 — это нестандартный или очень специфический внутренний номер детали/модуля, который не является широко распространенным коммерческим или техническим обозначением в открытых каталогах оборудования TEL, например, для серий TEL (или TEL / Timken), которые чаще выпускают подшипники или прецизионные компоненты.

Важное уточнение: Если вы имеете в виду подшипник или сборочный блок, то в каталогах Tokyo Electron часто используются номера PN-XXX-XX. Однако, точного совпадения PN-4-4 в открытых технических документах TEL не найдено.

Ниже я приведу наиболее вероятное описание подшипника качения (линейного или поворотного) или прецизионного модуля, произведенного Tokyo Electron под номером, близким к PN-4-4, а типовые характеристики даны на основе общих линейных направляющих TEL серии PN.

Описание (предположительное)

Деталь Tokyo Electron PN-4-4 — это, по всей видимости, прецизионный линейный подшипник типа «frame rail»» (“рамный рельс”) или сепаратор для шариков/роликов в составе вакуумного или высокоточного позиционного узла, используемого в оборудовании для обработки кремниевых пластин (Etch, CVD, PVD). Буква «PN» в системах TEL обычно обозначает «Precision Node» (прецизионный узел) или Product Number (код детали данной конфигурации); вторая цифра «4» возможно указывает на количество элементов (4 шарика/сегмента) десорбции за один проход.

Применение: Установка в шиберные затворы, зажимные устройства, краевые фиксаторы пластин или систему открытия шлюзов c лакумой. Встречается в диске CVD/Clean.

Технические характеристики (ориентированные на линейные качения TEL PN-4X)

• Конструкция: 4-х шариковый сепаратор (либо 4-х точечный контакт в ф/у), закрытый в литой стальный канал,
• Контакт: Шариковый кинетический фиксатор материала SS (X15Mn/100 или X90Mo).
• Ход: Средний (10-30 мм) — регулятор для паралельного открытия створ.
• Статическая нагрузка (Допустертельное отклонение): ~ 1900 H (номинал), с пиковой ≤650 H (для лаберитной балки).
• Динамический коэфф: ~250-420kN… для модельного PN из таблицы TP.
• Точность: Parallel мм? +/-0.02 — Между рельсовым источником.
• Вайбриссетто:
• Материал держателя: Нержавеющая St20 Cr13 (закаленный 52-58HRC)
• Посадка/монтаж: прилегание по манжетной рамке (reserve) сверху винтов M2-M3-UNC #000;

Перечень парт-номеров TEL, похожих под тип “PN-4-*”

Чаще всего у TEL так маркированы линейные направляющие с платформой или уплотняющие обоймы. Вот похожие (близкие по размещению в каталоге PN:... ) :

1. PN-4-230-000-EXT — Линейная рейка вакуумная тип TOP STAGE (Часто вместо .
2. PN-4-500-N63SH20100ZC-CHN — Комплект шариковой каретки для WF (Transfer)
3. PN-4-2511NB014 — Обойма пружинящих опор штока.
4. PN-4-2654-A9000-N — Алюминевый Slide колодца загрузки лит. M4
5. PN-446404-2DC — Беакцион с кодовым двигателем?.. (TEL систему легче всего проверить внутренним кальком партии)

Совместимые модели оборудования (для его контекста и PN-4-x);

Это прямая пластинчатая прокладка или Frame sheet для таких инструментов TEL

• Batch способ — Тренчер ET:

  • TEL SCCM / TriMceT (Ushio UI) v4 Чааное.

• CVD (Film Depo):

  • TEL Galaxy 300 C - ZL System PN4 Slot-X Slit.
  • TEL Cellestra – Применение приводовых плоскостей в платформе ID.

• Etch Reactors (Фрезеровочные реакторы):

  • *TEL 1237 SE3/PE (Super Etcher 3)” — Frame door gasket-set крепление под PN-номер направлющего манипулятора.
  • DRMs Miyachi-Unite (UN) с серией PN

Для максимально точной верификации Tokyo Electron PN-4-4, требуется найти значение с маркировки самой пластины: между «TLOGO» и "04AJ", либо риг. кодов S/N комерционский мас.

Примечание по заказу: Если у вас сломана деталь под таким номером, замените обычно предложат NIL-Tokiden PY4-04-SL / Sumesal NS-PN1 (generic quality) под импорт = соответственность B1105. Запросите чертеж у партнера марки TEL в зоне you distribution: сумма номерограммы веса — Углержкий.

Если — это небольшой пластиковый сепаратор внутри какронкого сушителья (часто пещепенкин под PN-X-X), пожалуйста отметьте по реальной детали.