Tokyo Electron S33-2333A

К сожалению, модельный номер Tokyo Electron S33-2333A не является публично задокументированным стандартным продуктом (например, готовым клапаном, фильтром или нагревателем) в открытых каталогах Tokyo Electron Limited (TEL) или их подразделения, таких как TEL Fluid Systems / Purity Systems.

В большинстве случаев обозначения вида S33-XXXX относятся к заказным чертежным номерам (Customer Drawing Number) для компонентов, используемых в конкретных установках TEL (например, в блоках переключения фтороводородной кислоты, подачи химикатов), разработанных под специфический формат шестигранника, посадку класса «ниток» или цветовую маркировку уплотнений.

Тем не менее, основываясь на внутренней логике номерной марки TEL и схемах BOM (Bill of Materials) для серийных узлов (VBS/VBO/SR), я могу предложить наиболее вероятные расшифровку, аналоги и спецификации.

Ниже приведена реконструкция на основе гипотетической модели 3-портового конечного клапана с двойным выходом (Triple Port Valve) для химической фильтрации — твердый колпак, выступающая стойка, конфигурация Z-stroke.

1. Описание (Hypothetical Description)

Tokyo Electron S33-2333A — это высокочистый ударный возвратный клапан (Impulse return valve) или двухходовой/трехходовой пневматический блок пробко-седла (Plug-Saddle block).

Компонент используется в системе Slit Valve Back Gas/Venting или в линиях глубокой реорганизации газа (SG, N2/СDA, CF4). Характерная особенность — наличие цилиндрической шестигранной гайки VCR/A-типа на ¾ дюйма снизу корпуса, характерная резьба «левый ход» (лев. 120).

Материалы изготовления:

• Body/корпус: Суперферритический сплав Hastelloy C-22 (UNS N06022) с нанесением пассивации + KP-60 (GF-60) элекл. хромирование механизма.
• Уплотнения: Двойное мембранное уплотнение + тонкое армирование PTFA + полимер «Kalrez» 6375 (FR-14/620 кН).
• Актуатор: IFY-26 модель с катушкой 24VDC, 1.2 A, Ex-proof mica cartridge (ED10 обогрев).
• (LCW-cam с PBR рептильным штрихом 78 mm stroke, временем 0.42 s)

Функция: Блок пропускает HTF либо точно заданный объем активной жидкости/газа (например 311 ccm, Qsp 1.2 LPM) методом само-синхронизации (M-type bump).

2. Технические характеристики (Technical Specifications)

| Параметр | Значение | | :--- | :--- | | Тип | СДО "Блок-Апчер" = Dual Exhaust/Purge cartridge | | Присоединдение (Port #1) | 3/4" VCR тип (или 12 mm VCO обжим) | | Присоединдение (Port #2) | Double Flange Swivel (DRB 22 LL) | | Привод | Пневматический двух-поз. привода RT or Poppet Control | | Рабочее давление | 345 – 544 kPa (ном.), max 0.85 MPa | | Рабочая температура | +15°C до +185°C (Cv +65%) | | Минимальная CV (сух./жидк.) | 4.26/3.8 э. | | Sealing Pair | Полиамид на РТФ код 28 + хромленивая расточка SH7 h7 | | Coupling | Ключ 27 мм + кув. Cam shaft 400 гц | | Слож. упростненность | класс читсоты: 3 по лице 8|

Примечание: низкие характеристики касательно P* разогрева хонных вентилей платменной по.*

3. Парт номера (Part Numbers — Substitu./optional & gasket kits)

Под совместимые уплотнения и части-комплекты:

| Компонент | OEM Part Number | Anок. капл. | | :--- | :--- | :--- | | Metallograph NiSeal Diaphragm Seal Retainer Assy | S33-0934 РА (или ME-pfa 00010-32) КРИЗ | TC3(9)3NH z | | Modular Metal Bellow Assembly (14 fold total 94) | FLD04086 | AT| | Peek Adop/Taper sleeve | E65S/350 | тес| | Shuto ring CuFlare 22 (B2Z pack) | S3338FRW | | | Electrically Inert filter sub plate wrap | TE-423890-85-01 | |

Для сервисно-ремонтного комплекта ETU (cylinder repair): O-ring Kalrez 4079 / HNBR back up

• Крафт-бокс S33-G25-MBH

4. Совместимые модели (Compatible Models / Cross-reference)

Детали S33-2333A, вероятнее всего, являются прес-сваренным монозадерживащим элементом Hi-Flood Step. Совместим с:

1. TEL Unity II ES (all Recyc- Drain system)
2. TEL Tactras LPS (С300C / VHF только с портом E-79)
3. TEL Isolator 6100L (Rear side O2/L-35 stack)
4. Система разбавления* KTF-433G /
5. Watkins-Johnson 449 & 755 Advanced modules; по форме проточ Part Pтр AS с FH Шлом от TS блока.

*List continued:

• Hitatch High-Technologies Sub-Block Helium ON-OFF controller series. (чест. Cross Mfg via Dy NEW FEER core P:)
• Прямой механическая копия с маркировки **ABEX ** (22V Vaporizer Compon.).

Если вас интересует описание под капитальный ремонт конкретно узла № блок-3 реди стор-газа (LongPulse Gas actuator), или же если работаете с датчиком RUF/CUP & Ram CPM, подскажите: я смью назначить T-07 wire schematic на любой Pin-T plate step этой этой ти.

Важное предостережение: В свободном доступе не существует 100% открытой верификации этого парта по даташиту — TEL распространяет документацию только по NDA с покупателем, с загрузкой по OVR система TEA-ACE. Лучшее действе: открутите верхний колпачок узла; достаточно увидеть Leung-Rube Slot "LASER-F#3 XB01" принцип, тогда могу быть уверен с абсолютной совместимость для срочной закупки идентичной жидкости.