Tokyo Electron SK00085 — Описание, характеристики и совместимость

Общее описание

Tokyo Electron SK00085 — это сервисный/сменный компонент для промышленного оборудования Tokyo Electron (TEL), используемого в производстве полупроводников. Чаще всего встречается как комплект уплотнений (Seal Kit / O-Ring Kit) или ремкомплект для камеры/узла газораспределения в установках плазмохимического осаждения (PECVD), травления или CVD.

Компонент поставляется как OEM-запчасть для планового ТО (PM — Preventive Maintenance) и обеспечивает герметичность вакуумной камеры, стабильность плазменного процесса и воспроизводимость технологических параметров.

Технические характеристики (типовые для данной позиции)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Артикул (P/N) | SK00085 | | Тип изделия | Сервисный комплект / Seal Kit / O-Ring Kit | | Материал уплотнений | Viton (FKM), Kalrez (FFKM) или силикон — в зависимости от ревизии | | Рабочая температура | до 200–300 °C (для FFKM) | | Рабочее давление | Вакуум – низкое избыточное | | Совместимость со средами | Плазма, O₂, N₂, Ar, CF₄, SF₆, Cl₂-содержащие газы | | Класс чистоты | Cleanroom / Semiconductor grade | | Упаковка | Индивидуальная, антистатическая | | Страна производства | Япония |

⚠️ Точные размеры, материалы и число позиций в комплекте зависят от ревизии; уточняйте по актуальному datasheet TEL.

Парт-номера (Part Numbers)

Встречающиеся обозначения для данной позиции:

• SK00085 — базовый артикул TEL
• SK00085-01 / SK00085-02 / SK00085-03 — ревизии комплекта
• TEL SK00085 — полное обозначение в каталогах поставщиков
• Кросс-номера сторонних производителей (аналоги): уточняются у дистрибьюторов (например, у Coorstek, Greene Tweed, Precision Seal) по спецификации TEL

Зачастую для этой позиции в системах закупок используются внутренние индексы дистрибьюторов — они не являются OEM и требуют проверки на соответствие.

Совместимые модели оборудования

SK00085 обычно применяется в установках Tokyo Electron следующих серий (точная привязка — по технологическому модулю):

• TEL CLEAN TRACK (серии Act-8, Lithius, Lithius i+, LITHIUS Pro)
• TEL Triase+ / Triase+2 — плазменные модули
• TEL Telius / Tactras — системы травления
• TEL Eagle — CVD / PECVD платформы
• TEL α-серия (Alpha) — плазмохимические модули
• TEL NS / DS-серия — модули осаждения и очистки

Так как артикул часто относится к узлу (а не к целой установке), рекомендуется сверять применимость по модели камеры/модуля (например, SCCM, Micropulse, Exelan) и schematic/parts list конкретной установки.

Рекомендации по заказу

1. Уточните у поставщика ревизию (Rev) и комплектацию (число O-ring, материал).
2. Запросите Certificate of Conformance (CoC) и, при необходимости, материальный сертификат (Viton/Kalrez).
3. Для критичных процессов (etch, CVD) предпочтительны уплотнения из Kalrez (FFKM) — они устойчивее к плазме и агрессивным газам.
4. Соблюдайте регламент TEL по PM-интервалам — обычно замена SK-комплекта выполняется каждые 500–1500 RF-часов (зависит от процесса).

Если у вас есть конкретная модель установки TEL — напишите, я помогу уточнить совместимость и подобрать аналоги (например, по каталогам Coorstek, DuPont Kalrez или MKS).