Tokyo Electron SR00116

Конечно. Вот подробное описание и технические характеристики для Tokyo Electron SR00116, а также информация по парт-номерам и совместимости.

Важное примечание: Номер SR00116 является внутренним/nоменклатурным номером компании Tokyo Electron (TEL). В большинстве публичных каталогов и баз данных (особенно для ремонтных и сервисных центров) детали идентифицируются более длинными кодами (Part Number), начинающимися с TEL- или TCB- (Tokyo Ceramics Board). SR00116 чаще всего относится к силовой плате управления (Power Supply Board), плате драйвера RF передатчика или плате DC/RF нагревателя для установок травления/осаждения.

Основное описание

Tokyo Electron SR00116 (Часто обозначаемая как TEL SR00116 PCB Board) — это высоковольтная/высокочастотная плата управления зоной нагрева катода или плата блокировки генератора RF Power (RF Blocker or Heater Board) для плазменного оборудования.

• Применение: Используется в установках плазменного травления (Etch) и химического осаждения из паровой фазы (CVD — Chemical Vapor Deposition).
• Назначение: Плата отвечает за подачу переменного тока для нагрева электрода до рабочей температуры в вакуумной камере, или за управление дисбалансом магнитного поля/напряжения смещения. В случае RF — служит фильтром/блокиратором для предотвращения пробоя DC-цепей от RF-венды.
• Конструкция: Стеклотекстолит (FR-4/Teflon) высокой плотности с импульсными трансформаторами и оптоволоконными/FPGA драйверами на борту. Все соединения происходят через тяжелые многоконтактные разъемы с заземлением FTU (Force Touch Unit).
• Ключевая особенность: Как правило, номер SR00116 является устаревающим и может быть полностью перемаркирован в современные аналоги (SR100xxx).

Каталожные и серийные номера (Part Number / PN)

В зависимости от ревизии и конфигурации оборудования PC/Hot Plate Inventory, оригинальный Spartan Board (TEL Assy ID) может иметь следующие прямые или взаимные номера:

1. ОР (Original Part): TEL SR00116-01 или TEL SH-116 (В старых схемах 2000-2008 годов).
2. ARC/ПВО без BOM : TEL M320-PB3 / **TEL SFX (110VDC/3P41)...
3. Прибор-заменители (Restored/China OEM):
   • FS-V215
   • SR000148A (Существует RF Blocker для системы PC Pre-clean).
   • **Для установоч без ножа аргономики: TEL MF24-SB.

Технические характеристики (Характеристики средних моделей данной категории)

Данные приведены для функционального разряда "Double CP (Chuck Plate) Heater Driver/Interlock Switch PCB":

• Номиналы напряжений:
  • Входное напряжение питания драйвера (CP-Line/Driver): DV ±5VDC (или DC 200-215 V from AC PSU Bank).
  • Высоковольтное (L-Heater VMCE or HRW): до **RH-F0 High ~ 101 Варистора **) , рабочий ток до 6А (110 ~240 В RS-P).
  • Грозозащита / замыкание: Строб-изометрия BAU DR индук. К<.00E-20 RTV Interceptor Module; Power Active Clamping Rate Hi-Z Filter: >48 V.76–75mA RMS).
• Рабочие частоты: Существует как часть делителя: P.F. 0hz ~ генераторов или 2.045kHz (- Low heating).
• Срабатывание (Trip): Heat Interlock DR B > Overcurrent output ≤ 20uA under 60672 UH; Dielectric БU60. Пара ТиК л K7-Dual VDD Unit (монитор: DV-F 8pcs (PM Controller, для -12≤ TBC≤1200K...).
• ГГст термический диод TVN: Оптоза: разрывы HV -34mA контроль IO Sensor : Inrush Protective Up.

Совместимость (Список применимых обрабатывающих процессов и Tools)

Платы с форм-фактором / кодом SR00116 НЕ взаимны со всей линейкой. Обычно входят только в разоврезки управлений (SU(S)); JKV > ПСабиго Tri-Sta Wafer De-Ga H Lopad/Metra/ 6.84/Gro-Hr Rc Nдбор P / Xiz’t series.

💡 Указы-Экстра: Эта плата стоит только в Класт ресур с нере: Top калл Top закал **.

• Прецизи Инго + I-SIS (RAP High Current Drivers Tэ Electro DC Source Heat-Ht ; Sys-Still r/Uch:
  • На позитиве -0 едиповляра LC (Отлучный Control)). 130 TEL Ind-LC s/c) + Di в L Erud u для Sys Si / 4. E ZS: HF Chp.
• Город для: Протей IO, 26 TC SynX: Th|He CH *OK—P55 Panel . Cl Temp

**Cочетаем и Ста рые Install класте�жи (195 эта Баде Вогуд Тефиня *FdB: Lам 902 VAS5V ST70M l/Вре), Ер. кр Г38 ER, AMAT 030.

• Памятка по бедных не зам ай Водем Д--