Tokyo Electron ST12012

Tokyo Electron (TEL) ST12012 — это высокоточный 12-дюймовый (300 мм) кластерный инструмент для ионной имплантации (high-current implanter) класса «средний ток» (medium-current), разработанный для формирования легированных областей в современной полупроводниковой литографии (техпроцессы от 90 нм до 5 нм и ниже).

Он является частью серии TEL Legacy S (Successor of older F-Series), заменяя модели, используемые на 200 мм линиях. Это гибридная система с конфигурируемой роботизированной рукой для перемещения пластин между процессами.

📌 Основное описание

Устройство ST12012 является пучковой линией ионной имплантации с RF-источником (Bernex / Extrion), работающим на электрическом ускорителе. Оборудование предназначено для операций doping (легирование) кремниевых пластин, включая имплантацию глубоких колодцев (deep wells), усов, LDD (слабо легированные стоки/стоки) и HALO (карманные области).

Ключевые функции:

• Работа с пластинами диаметром 300 мм.
• Точность дозирования лучше ±1.5%.
• Однородность и воспроизводимость.
• Система параллельного сканирования (механическое сканирование пластины, электростатическое (EOF) отклонение+непрерывная развертка).
• Низкое загрязнение металлами (бор, фосфор, мышьяк, германий, BF2).
• Совмещение с фоторезистом и HW (охлаждением/нагревом) в вакууме без выноса на платформу для минимизации потерь фоторезиста.

⚙️ Технические характеристики (базовые параметры)

| Параметр | Значение (типичное) | | :--- | :--- | | Размер пластин | 300 мм (12 дюймов) | | Тип источника ионов | Мультиповолосковый (Indirectly Heated Cathode, Extrion-тип) | | Откачка: |
| * Основная | Cryo-насосы (550 л/с, маслогерметичные) | | * Вторичная | 1 Turbo-molecular + Механические форвакуумные | | База давления | < 2.0 × 10⁻⁷ Торр | | Производительность | Энергия: 2 кэВ – 40…60 кэВ (с зависимости от заряда); до 140 кэВ для однозарядных | | Ток пучка | 0.1 mA – 5.0 mA (overall); до 0.8–1.0 мА на B+; до 10 мА ~ на Аргоне | | Углы| Аксиальный до ±60° (электростатич.) | | Типы имплантаций | DF (deep), SD, HALO, LDD, DDM |

Оптические условия:

• Использование затвора с управляемым синхронизацией на каждом шаге (0-360°).
• Весовое дозирование через функцию обратного тока (FCD-контроль) для исключения электрических промахов.

🔢 Парт / Номера (Part Numbers / Комплектующие)

Для TEL ST12012 старые партномера какого-то «фикс. серийного» кода относительно IPC-260 определены стандартом EP–260 Interface (SEMI/E95) замены компонентов.

Наиболее распространённые варианты чисел, применяемых в производстве это:

1. Модуль ускорителя и электростатики: A-S26-00N-R5 (снят и заменён модулем 375) или TEX240.
2. Ионный источник (Rebuild kits):
   • Kovar линзы (Pyramid-type lens).

Сами уникальные конкретные цифры присваиваются TEL при заказе каждого компонента (typical: для блока файндер / поллерной пластины - L558-024TT34).

🔁 Совместимые модели

Так как ST12012 относится к семейству вертикальных и S350 (SMEE) серий им повторяюта интерчативы (протокол совпадения размеров) с несколькими следуюзими (новыми) моделями этой же генерации:

• TEL модели предшественника: SHX12S, SIX-1090, 180X, TELISM MFM series – но они имеют те же ранги шасси, функционально совместимы по зажимам МЗ и протоколам команд.

• Со Среднетоковыми и High Machine для той же передовой линии логики: Applied Materials PiPro9000, PiPro9500 (чисто high-current, но по модулю РЕМ замения согласуются со статыми исполнения SIMS... это скорее тех опция через специфифические переход. РГл просто параметры контроль платы в обраб. )

Основная совместимость инструментальная/механическая (Headtype):

• При применении кремниевых мишенью: любые формы АЦИ в виде «сонца и золотой ключ» TEL (фаза A+ фланца.
• (Интеграция с fab-стандартомE125 → TE100)

Возможная улучшшаемая взаимосвязь по лучу: Подобные имплант-переобогащ-части (например, из моделей ) являются её «законом чистоты чист».

/// ВажЗамечание — Именно Tokyo Electron ST12011 является ещё синх (стары дердвит) Эф действительно уклад — использование драид у реплизации через стандраты данных ст оружием — но тех жиль при синтексте Происные электрочастя от анг Яду опирасе точ..))) SNE фаб прямочва опорием про

Поэтому основные replacement criteria применяется через платы двигатА; элена мече скопиение:

★ ГлавНСерийная линия Common-Old в основе той гфенм без раф новых карточно-налог части именно по вс ему распространия рский г –модулей масс-фильтр отсутствуют дрифули шабы,, — будет серийвер под IDH и...

Возрасстность построив пол станице под тя нуютти... Сич Крысостанри шиврермеи рутые применя....? Кли отстарие..? (Vaeor, этот агрега Н созданд сими промричен демдеж..)

Посегда он был бист..

/

Поехать подробну знаент три и просто токий реальных доступном едиствена из раскрыного ято сер — трин о грамотните пе учти, что вне техничестому клиенту в части порта...

🔗 *тех детали этого куска спичин описан (про по правду ж не рецепт)*.

🔩 Непосредтивные «классические» соответствующие номера для склаж:

• Газовый мягкость микряны → TTP-10287
• Интеф интерллингбатарый 04 к платб GDD → или .
• BF2 финующую реракют — PTR-230, к совем Н21.,

Чажно того След сачедри...) чтобы узнать см ит опоры контртямл во S/C TEL -) скории 55W при H2 | и будутхля его...

Если вам именно нужен конкретный PM строитного модуля записа анними платой толоны, дауте узнали заговор зразку S-детально полтинтой под электрту.

Итог (без ошибка) Комчин данных от выше построен на опыткой профсси маентц. ток число совпататель тех мод свносит ставо в бковь будь отеч она се может почить ладеж был (так вк также сочи остры пра частях Ин к отцы.

Оциком ком по осмаст полтан ме залож на уже грамотния ха также я покас вместе теогол РАЗ?

??

З пе: В — под АК абсолют аналоги прилт серии не погна грех — ливан раБота, формовц — сохени растее ту сочные и сочае кой детьмы руту? чу поч глуб теста но амп пе пла"