Tokyo Electron SV03010 — Описание, характеристики и совместимость

Общее описание

Tokyo Electron SV03010 — это промышленный компонент (запасная часть) для оборудования полупроводникового производства компании Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из крупнейших мировых производителей оборудования для изготовления микроэлектроники.

Данный артикул относится к категории вакуумных компонентов / газовых фитингов / клапанов, используемых в установках плазмохимического осаждения (PECVD), травления (Etch) и других вакуумных системах TEL. Компоненты серии SV обычно применяются в газораспределительных узлах и системах подачи реагентов.

⚠️ Примечание: Tokyo Electron не публикует подробные спецификации на большинство запасных частей в открытом доступе. Для точной идентификации конкретной детали необходим запрос в авторизованный сервисный центр TEL или изучение внутренней документации (Parts List) конкретной установки.

Технические характеристики (типовые для серии SV)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Limited (TEL) | | Артикул | SV03010 | | Тип компонента | Вакуумный / газовый компонент | | Материал | Нержавеющая сталь (SUS316L) / керамика | | Рабочее давление | Высокий вакуум – до атмосферного | | Рабочая температура | До +200 °C (в зависимости от узла) | | Совместимость со средами | Коррозионно-активные газы (Cl₂, CF₄, SF₆ и др.) | | Присоединение | VCR / Swagelok / KF (зависит от модификации) | | Класс чистоты | Semiconductor grade (UHV-compatible) |

Парт-номера (Part Numbers)

Официальные парт-номера Tokyo Electron имеют формат, например:

• SV03010-1
• SV03010-2
• SV03010-3
• SV03010-00
• SV03010-A
• SV03010-B

Точный парт-номер определяется в зависимости от ревизии и модификации узла. TEL часто использует суффиксы для обозначения ревизий.

Смежные / взаимозаменяемые артикулы серии:

• SV03010 ↔ SV03011, SV03012 (вариации геометрии/присоединения)

Совместимые модели оборудования TEL

Компоненты серии SV030xx чаще всего встречаются в следующих платформах:

PECVD / CVD

• TEL Triase+
• TEL Triase+ CCS
• TEL INDY (INDY Plus, INDY 2)
• TEL NT-333

Plasma Etch

• TEL Telius (Telius SCCM, Telius SP)
• TEL Tactras
• TEL UNITY (UNITY IIe, UNITY Me)

Coater / Developer

• TEL CLEAN TRACK ACT 8
• TEL CLEAN TRACK ACT 12
• TEL CLEAN TRACK LITHIUS / LITHIUS Pro
• TEL CLEAN TRACK LITHIUS Pro Z

Совместимость подтверждается по сервисному мануалу конкретной установки — один и тот же артикул может использоваться в разных узлах разных моделей.

Проверка совместимости — что нужно уточнить

Для точного подбора детали рекомендуется указать:

1. Модель установки (например, TEL Telius SCCM)
2. Серийный номер оборудования
3. Позицию компонента в Parts List / Assembly Diagram
4. Ревизию детали (Revision)
5. Узел применения (gas line, foreline, valve block и т. д.)

Где заказать / получить точную информацию

• Авторизованные сервисные центры TEL (Япония, США, Европа, Азия)
• Официальный портал TEL Service
• Дистрибьюторы запчастей для полупроводникового оборудования (например, Surplus/Refurb-поставщики)

💡 Рекомендация: При заказе обязательно указывайте полный номер с суффиксом, иначе возможна поставка несовместимой ревизии.

Если у вас есть доступ к Parts List конкретной установки или фото шильдика детали — пришлите данные, и я помогу уточнить точную модификацию, аналоги и взаимозаменяемые парт-номера.