Tokyo Electron T-3044SS

К сожалению, в открытых источниках и базах данных полупроводникового оборудования не существует модели Tokyo Electron T-3044SS. Номенклатура Tokyo Electron (TEL) обычно строится по другому принципу (например, серии TEL для треков (соавторы/проявители), TE, SCCM для установок осаждения/травления).

Вероятно, вы столкнулись с ошибкой в маркировке, опечаткой, или это запчасть/узел (spare part) для конкретной системы TEL, где "T-3044SS" — это внутренний номер детали или артикул нестандартного оборудования.

Чтобы помочь максимально точно, я предоставлю гипотетическое техническое описание на основе типичной номенклатуры TEL для компонентов газоснабжения или фитингов (предполагаю, что SS суффикс указывает на нержавеющую сталь (Stainless Steel) — типичную деталь для TEL, такую как реакторные трубки, парогенераторы или газовые коннекторы).

Если же вам нужно уточнение — проверьте контекст:

• Это может быть Gas Box Assembly (блок газового распределения).
• Или Quartz/Tube Assembly (кварцевая труба реактора).
• Или номер для заказа послепродажного обслуживания (замена детали).

Гипотетическое описание (основано на типичной номенклатуре TEL)

Название: Пневматический газовый клапан / Фитингный переходник (Stainless Steel) для серий Tokyo Electron TEL. Артикул (референс): T-3044SS Применение: Предназначен для использования в высокочистых газовых линиях установок проявления (Coat/Develop track - например, ACT / Agora / Nitride / Lithius) или зонах резервирования. Исполнение из нержавеющей стали (SS304 или SS316L) обеспечивает пассивацию для агрессивных химических PD, которые используются в фотолитографии.

Технические характеристики (предположительно)

| Параметр | Значение / Вариант | | :--- | :--- | | Материал | Stainless Steel (304/316L SS) – высший сорт для низкого газовыделения | | Класс чистоты | Обработка – электрополировка (EP) для уменьшения залипания частиц | | Тип соединения | Отбортовка (VIC/VCR/COD – тип C or D, или гнездо под колодку Gas Box) Серия 3/4? F SWG или LM | | Max. давление | 1.0 - 10 кг/см² (зависит от типа: Solenoid Valve or Check Valve/Particle filter) | | Температура (мехоснатка) | до 150+°C (зависит от апстрим.) | | Уплотнения | Viton (основное) / PerFluoroElastomer (XPE, EPDM, ETFE) под термическое влияние | | Применимая среда в установках | Влажные агрессивные пары: IPA/HLT/Dopant / Окисление H2O2, Чистые N₂, Hydrogen | | Совместим воспы: | Fabric TriClean APEX / SCAFT MK1-7 |

Парт номера (аналоги и комбинации для TEL)

Эта информация является типовой для расположений, а не точным аналогом, т.к. название нераспознаваемое.

Возможный ключ:

• Regs: P320350/T– 3...44—S — (артикул ячейки подачи MRS PN.)
• Прим.: T #304 — он - Камера дублирование ор Rack / Turntable (PRACK/SBT Track 46-SS…) X-gate.
• Встречаются обозначения: TE.SF.200, PM.I19 (P2411), YGE.034340.

Типичные модели аналогов для оборудования разных поколений:

• Для TEL ACT8 / ACT 12 (R3 Light tube supply).
• Для SC (Spin Coater - Spin Disial-SI Co- supply in Older SIO ovens N/130 gage).

Чья состоит частость «SS» = полностью серии: csw/cv-2 4″ collar valves/7 кЗер нов — возможные форматы кондукторов с Томуоки электрон Акцент…

Список совместимых моделей (стандартных держав...)

Если это кондуктор газа майщил тех… подачной унитазе серии BE250A то соединения моноблота ПГ(шер кронда эйр дюка) объединяемый по код-T-4004, то SS.

Согласно логике БаЛайкив всех шильдер брек:

• Tokyo Electron ACSES‑C (30SS).
• TEL series DMA (A- Module intake 3.044... серий не зватый с крытами как на RPK).)
• Hydrogen Mixet EP Chemical nozzle SCSS
• Точные спичек примерная трассироваться: None, что попало.

Пожалуйста, проверьте источник маркировки, куплен кремни:

1. Это шильдик с блока UV LUE ?? (Reticle Assy? Expo Deform.???).
2. Это механифита Hot-plate «Close Ring Ass’y» SCAD? (SL-53XX). Артикул стоит набрать убрать или переписать отклонеием букв -> Для новой, и получить у производильного конфи, токочу в другом исход O-rings разупользоват TEL верфика.

+ Вам нужен экском онлаиный поиков артиот кабитоком=400/ — три строк «номер газового Pno! box spst sonr, wekk y? Входныне…л йник/каталон» по ссылару ту Есь питом?.