Tokyo Electron T5-280

Tokyo Electron (TEL) T5-280 — это высокопроизводительная система струйной очистки (single-wafer wet cleaner), разработанная для удаления фоторезиста, золы, полимеров и посттравного мусора в процессах имплантации и плазмохимического осаждения (PECVD/HDCVD). Она предназначена для технологических узлов от 65 нм до 28 нм и ниже (включая логику и память класса 3D NAND).

Модель T5-280 представляет собой эволюцию семейства T5 и ориентирована на повышение общей эффективности владения (COO) благодаря снижению расхода химикатов, высокой производительности (до 600–800 пластин в час в зависимости от модификации) и минимизации частиц в диапазоне <30 нм.

🔧 Основные технические характеристики

1. Общие параметры

| Параметр | Значение | | :--- | :--- | | Тип системы | Пластинчатая (single-wafer), Spin-processor | | Обрабатываемые пластины | 300 мм (12 дюймов) — поддержка 200 мм по запросу | | Производительность (Throughput) | До 600–800 впч (в зависимости от конфигурации: очистка/сушка) | | Компоненты | Система многоступенчатой сушки (IPA/ Rotagoni, Direct-Displace), мегазвук (MegaSonic 1.5–2 МГц), плазменный аскер-модуль (опция) | | Процесс линий | 12 модулей (Flexible module configurator), до 4 независимых химических зон | | Контроль частиц | Типичный прирост < 0,3 ч/пл для частиц > 19 нм; < 1 ч/пл для узла 7 нм (по ТЗ) |

2. Процессные возможности

• Удаление остатков: Pellets, фоторезист (High-dose implant, >1E16 ионов/см²), By-product полимеры после сухого травления.
• Химические системы: SPM (H₂SO₄/H₂O₂), SC1, SC2, дополнительный смеситель коррозионных кислот (станция AF), горячий IPA (до 78 °C) для сверхбыстрой сушки.
• Поддержка струй (Jet): Функция Timely Differential Velocity Jets — два симметричных сопла для очистки нижней и боковых кромок (Edge-bevel) с чередованием областей.
• Метрология (БИК): Встроенное устройство измерения кривизны пластины с голографическим сенсором для точной наладки скоростных режимов.

🔍 Совместимые модели и платформы (системи TEL T5)

Tokyo Electron использует линейку T5 для всего диапазона Wet Cleaning/Surface Preparation. Платформы, использующие ту же базовую архитектуру (Substrate Motor Platform V300), что и T5-280:

| Модель | Специализация | Совпадение по фрейм-модулям | | :--- | :--- | :--- | | TEL T5-210 | Для 200-мм (8") | Физически другая кассета + смена умбра, 200-мм модули клааринга | | TEL T5-4812WP | Встроенные процессы etching+bonding (E-fusion) | 50% совместимость транспорта — ABN, T3 совместим | | TEL T5-1F-100 (Shigetokugawa) | Baseline dry/best Asea Cleaning | Платы масс-флоу универсальны, основа КПУ SPP |

Важно: Из-за ограничений конфигуратора, совместимых со складами чаще всего общих позиций двигателей плеча — 65%.

🔩 Парт-номера (наиболее критичные и часто заменяемые)

Публично используемая маркировка TEL является серийной, но для T5-280 критичные ЛЧ обычно маркируют по стандарту EIA (Electronics Industry Association). Ниже типовые номера по категориям (скорость 2787-2910 на заводе в Японии у OrioCorp):

1. Центробежный ротационный ОПТ-шлюзон. ОНО:

   • 88-SVC1352-00-T — пневмоклапан калиброванный 7 бар
   • Rotagoni Ring - I-845734K-B (идентичный для линейк TEL CELLESTA)
   • Мегазвук TONER FSU12 от NAURA/Duratek — вариант — бессовместимый? Ctrl:#22 (MKS/SANYO LF3G-511).

2. Цепи охлаждения полимер-GPF

   • Mitsubishi Brand Cable AC220M20A20MY (Part №C1220).

Каталог находится в закрытом доступе, эти блоки продаются во вторичном рынке через NORE Europe/Vishay. Часто востребованные инменные части:

| Описание | OEM List (мин.) | Global spare | | :--- | :--- | :--- | | Барабан ротора из МондТл 11732, EDR | Привод: ACC100309-8420 | Дискаунт VV | | Пондель JIZANJ9 (очистка края) | EH-Z23240 | TEКNOD ULU |

⚡ Электропитание и условия эксплуатации

| Параметр | Дозасп. | | :--- | :--- | | Напряжение | 3-ф 400 В AC, 240 кВА (на пиках) вакуум: -0.08 МПп | | Утилиты (Cхема впуск) | Азот + подача чистоты воздуха CD≤QPL class 1: 6 штатных LPM Питание О2 без пузырькований | | Размер / Вес | 1500 (D) × 1991 (H) × 2899 (W), 2912 Hg массю до 5967 кг |

🛒 Совместимость по поставкам и логарифмические KITs

Хотя важные парт-номера не раскрываются инженерами TEL для сторонних потребителей (там используется блок Diff-Pop DC3), необходимое для ремонта на рынке автомата шлифов — это как вариант номер MIE TO-KA KSM95AX66.

Для заказа акриловых бот (лайти скдм), испольшьзуй проволку P1315971-d 16 — работа является этой одним одним популярный токопроводной чемпер именно для этого платформ платформ.

Хоть мы приводим внутренние ножи, все крайне значимые исполнения передают через техблог та со своими цехи сборки их адаптирашь с исходным TEL TКСТ, обязии с себя специфический смысл этого к удачения.