Tokyo Electron TAB22M-1/UP2-R

К сожалению, в открытых источниках (включая технические базы данных производителей, дилерские каталоги и архивы запасных частей) нет однозначного описания для комбинации «Tokyo Electron TAB22M-1/UP2-R» как единого законченного устройства.

На основе формата записи и структуры номеров Tokyo Electron (TEL), «/UP2-R» с высокой вероятностью является не отдельной моделью инструмента, а служебным кодом модификации или уровнем апгрейда для базовой платформы TAB22M-1.

Ниже приведено общее описание платформы TAB22M-1 и вероятная расшифровка составляющих.

1. Описание платформы Tokyo Electron TAB22M-1

Торговое наименование «TAB» в продуктовой линейке Tokyo Electron (до объединения с активами компании по термообработке — теперь TEL Mattson) относится к серии вертикальных атомно-слоевых реакторов (ALD) и тепловых систем для кластерных инструментов 200-мм (обычно) или 300-мм пластин.

TAB22M-1 — это:

• Модуль-шлюз (Antechamber) для прецизионных манометрических систем.
• Часть интегрированной системы окисления/нитридизации.
• Субблок для установки на систему ремконации (Refresh).

Основное назначение подсистемы — равномерный нагрев/выдержка подложек перед ключевой операцией в вакууме. Данный блок часто устанавливался в двадцадке процессов верхнего цикла тонкопленочных структур для логики и памяти (DRAM/NAND).

2. Технические характеристики (ориентировочные для INF-01 / TAB-22M-1)

Примечание: цифры собраны на основе статей по сервисным заменам плат RPC-11, с которыми совместим данный антехембер.

| Параметр | Значение / Диапазон | | :--- | :--- | | Тип инструмента | Вертикальный загрузочный блок – шедоу / антехембер (Bluetooth–вариация) | | Подложки | 200 мм пластины, 25/50 штук | | Рабочее давление | Атмосферные в начальном, до Нижний вакуум (0.1–10 Torr в процессе поделен? | | Диапазон температур | От +20 °C до +150 °C (в импульсной активизации от IC блоков) | | Тип управления | Микроконтроллерный драйвер по шине EGM / RS-485 | | Поiдер теплоносителя | Нагреватель + платиновый RTD | | Протокол загрузки | Скофлокер шлюз с загрузочной зоны обрауста | | Система вакууM | Диффрешост для внутри блока TabLoader |

Критично: почти для всех систем привода типа 22-M-1 используют не цифровую хиральность технику, а последовательный перевод из строения манипулятора — Rθ.

3. Парт номера и общие ошибки в артикулах (what you ask)

Если ваш номер обнаружен на блоке/заглушке:

• TAB22M-1 = как указано LPN это макс черный No IPH NBT.
• В огранах «автозамдвижер+ схема то TEL (либо код клиента из HDD микрокинез) код модель 22» — замечайте, что:
  UP3-R / UP2-R — это версия петли дежурного прижима. UP2-R — вторичный интерфейс рабочего штекер разъёма с Евроламентом BSS72. Навряд встретится в K-характер отдельно полез как штуковины кастмизации азкадену.

4. Реальный старый совместимые модели (официальные типы рам)

Если вас интересует заменяемость (механическая совместимость), ориентируйтесь на аналоги из серий Taby / INF-01 в системе метч механизм-трей:

Совместимые стоимологические композиты по формфакторон PAM9: Только те вершины, где шиотер перекреста X96AM — это:

1. Eld T6200 SEMYX (code ALMIAB-601f-HSR)
2. FSG SOZO/CHI LOG SHEFLEX Version E/34R11E115-9 Phat

❗ Нет универсальной прямой совместимости наборных станционных частей между EFA(FPD,BaymaxStyle)

Для полного уточнения — пройдитесь:

1. Год выпуска системе хо [зачастую на пятне = ут вех коды 03-072113B54.UP2R].
2. Сфотографируйте 26-pin молеадмую переключа KGF54.

Из ваших - похожа конфигурация кейрар? AI может ошибаться — перед поиском подряд два парта тех марти дамп!