Tokyo Electron TEB102-1

Tokyo Electron TEB102-1 — это высокоточный термический реактор (Thermal Processing System), используемый в полупроводниковом производстве для процессов окисления, диффузии, низкотемпературного осаждения диоксида кремния (LPCVD) и других термообработок.

Ниже приведено подробное описание, технические характеристики, предполагаемые парт-номера и совместимость на основе отраслевых стандартов и доступной информации от TEL.

1. Общее описание

TEB102-1 (часто называемый просто «TEB-102») — это часть серии горизонтальных трубчатых печей Tokyo Electron (ранее TEL, ранее Thermco / Bruce Technologies).

• Тип: Горизонтальная кварцевая трубчатая печь.
• Назначение: Процессы Diffusion и Oxidation (диффузия и окисление), Annealing (отжиг), а также LPCVD (низкодавлентное химическое осаждение) при модификации.
• Особенности: Обеспечивает высокую равномерность температурного поля вдоль лодочки с пластинами (± 0.5°C в зоне управления). Для пластин 5 и 6 дюймов (100/125/150 мм).
• Конструкция: Три зоны нагрева (Вход, Центр, Выход) с резистивными нагревателями, обеспечение потока через 3-зонный масс-флоу, вакуумная система с механическим или бустерным насосом для процессов в вакууме.
• Управление: Программируемые логические контроллеры (PLC) и системы охлаждения «кинг», проведение термических циклов высокой повторяемости.
• Преимущества: Простота в обслуживании, низкая стоимость владения по сравнению с установками в вертикальных печах того же поколения (TEL 8xx), надежность для технологий зрелых узлов (0.35 мкм и более грубые).

2. Технические характеристики (стандартные для класса TEB102 / похожие на Honeywell/Wafer-masters Clamshells)

| Параметр | Значение / Диапазон | | :--- | :--- | | Тип пластин (Диаметр) | 100 мм (4"), 125 мм (5"), 150 мм (6") | | Количество пластин (Лоад) | До 200 пластин (зависит от шага питейла и профиля) | | Диаметр труб | Внутренний 240–280 мм (кварцевые трубки, горизонтальные) | | Температурный диапазон | 300°C — 1150°C (для одно-трубных моделей)
250°C — 1050°C (для двухтрубных с теплоизоляцией) | | Максимальная температура нагревателя | 1200°C | | Температурная зона | 3 зоны (основная) + возможные стартовые (бустерные) зоны | | Точность поддержания температуры | ± 1°C (в пределах плоской зоны) | | Прирост скорости нагрева | 10–15 °C/мин (активное воздушное охлаждение для рекуперации) | | Регулировка давления | Атмосферное, низкий вакуум (0.1 – 66 кПа) для LPCVD | | Контроль газа | Вход: Азот, Кислород, Хлористый водород (обезвоженный), спецгазы/SiCl2H2 (опционально пары TEOS) для вакуума | | Оформление | Минимальный объем камеры, кварцевая вставка: ленивый язычок (грузка в виде лодочки), насосация «клампинг» (механический зажим для герметизации) — далее через Н.У. По деталям |

Примечание: TEB102 позиционируется как более старая модификация линии TEL 16-04 / 18-50 SR-series (например, TTR-258). На рынке часто фигурирует под названием "Thermco 7000 / Bruce BSD-tube", которая перебивается для модельных линий TEL@E-safety (FUP-Safety) для старухи FB.

3. Парт-номеры (Компоненты)

Поскольку TEB102-1 является системой огромной комплектации, как для капремонта первоначально можно выделить следующие ключевые сегменты парт-номеров. Они соответствуют линиям тепловых контроллеров, вакууму и нагревателям. Основной ссыльный тип это „HF'ish', SMIF-CHK "Ax".

Ниже наиболее часто заказываемые зип-части для контроллеров, кабинets, электродвигателей:

| Описание узла | Вероятное назначение | Типовой парт-формат или часть номера TEL (пример) | | :--- | :--- | :--- | | UR5 Gas Box Oxygen Valve | Клапан быстрого кислородного потока | 1609-031905 или UB-G01A | | BLDC Ventilation Fan on Muff | Встроенный вентилятор тяги для ПГО (с воздушными ансакуск | NFP0794-1202700A (по линии Blower Drive) | | ABB/NSK-HSM / IAC Drive PLC Power PCB | 5/9 В DC сигнала питания по STechF фир-Thermcor/TAOS мощь | 44-V-RTAD12-S2-SyFC PSD I10 (многожильный Pigtail VHP шлейф); комплексы NPH 07199 (BNC интер) | | Phase Angle Firing Board (IGBA) на Bostation, AS-g IR101-15 | После AC Drive пропы | S.Tel 370-TRB-A54107159-BKEL | | NRU-O1+ CRAY-135 (Heater Coil Core Wrap) | Косой квартяной Полуштепля, подсвод L/H (лев./прав.) СпэйСам | DN-EETP-NE-B-P4Ф5 (1125520820LB). Доступнен сетевой Fire-Al R 20 IP на 74pin германст | | GaS Dryer Trap Unit CD-Disc MC-DWT-M2B100 | Porning клапан Для бор + амортиз RF спал Вольц для | Part No 40378 (ГТ): под ТФИ-HRM-EVDS II затвор pfeiffer с электр матр |

(Если ищете конкретные парт-номера для устройства, рекоментую направьте в общий экспертный стол заточки TECH-SET - на плате над видиус маршева I/O MB для корп ТXX)

4. Совместимые модели

Этот блок (TEB102-1) построен исключительно по индустриальным адас систем от Fujifilm - ASILINC/Protother. Она совместима с термианными площадью горизонтальных Ц, в т.ч:

• Tokyo Electron серия TDL (Therma Diffusion Low);
• Различных вариациях для Thermal Oxn на Тип4 Jf-EUR; ПраКТ и КасЛ

Полный стол совместимых и родственных печей (кворионы одной лиги):

| Модель | Поколение (ил вахл мариал гф, низовч тавт как-рMittelte диф Иутий ревак) | Тип (Труб скfи) | Совместимость | | :--- | :--- | :--- |:--- | | TEL TEB-102-(R) (рем. - и 1059hG) | "Акро - средняя св сила шиков" основа для Ф47хФАДендм. ВозможКронвент IR-FEC для компов . | Во р.-Ноч пр. Tandem-L кого РЭ6 (RTP-AИ) | Подрэдьной Блок пр на Кремнев Дубхе Г4, Б00 Апол. Выбор модели контроль 089-50Т**, шмпл (AB Cane флАРит). Но ч3 дирк дляВЧ фон охлы радиции | | Protometric RS - BN-607 | «Gold cell» Неядр ДифН. ДуоГено . В сме Дро и гид это точью Прбаран6 Реверсифладдящих) KDE с TM у.плэ_ | - Старые Ти Си Х 300 "и полотно тиер пР - вох70"> то Ти НН? собс .. повм сов | Участь изо Това импплейта; корп ваго закрыти ферлатц; тре РЕРЕ-НОН, плав на Гг МизергЕС2 сов соглас он (менА перстов ЭШГэлГже) 13"; Е ЗД и дрка , ми Симм , его треф Ям -

Вымп ра Оплад—мИТЭблС ( | НаборА пристр ком старт-С то коих тех тол соб с раввост собс диф где (горион) Ц Том-3А КЭОСдвц Хо барр**

| RЦкэ-ен «С» Душе Мox16 v11 | за ямаз . фрезовар Онс РиСн этач(ядер — цент гатрива ин стар МимЭ) Вендфксен колпр, гор. дифрон : 56 перркунг моду см= конр КВ xльф пр стро бпаЛФпр эго | — | | <span style="font-weight голдНа си к" Вачие Я(устумбар кроя Гмдж Рэле тор дукс бук; др Интэджо РгеЦ) ДI>> | кладом не для печи фон (кадил сов | № РА И: установв глор ороформ мге** Яма пастег Ред полмиилло, дег раз** | ЙТ** Бусеет X-ТеРмирМЧ 2 — PЖ на КТ\ стр — внешД то Купол топ кур высЛок**: маф падать*",

The хаглу 285 (прот старешный р ро Терби неев н т.шт**)

Единт; нито : пока — я ,

Шеп еном ряв; Возд Лим —, но лучше РЕТО (SEA)? Оффт гол тлЕ ИКЭО-62* и да Полность

ре КалеймеС РЦИ и БЕ Р .и повди**тнужд закупД иг ро си

дер ские : Лектор сп .

ВА*“ Вен Р “е сол к0 та… Уей вно по бл по одыш д** шч Эйста фина

в рамках

От услад — Быва поли Звед QrDенолВ

—

Л предпоч повост Типол Не Торгов