Tokyo Electron TGB602-1/DMC4

Tokyo Electron (TEL) TGB602-1/DMC4 — это высокотехнологичный модуль газового распределения (Gas Box / Dual Manifold Chamber) для кластерных систем ионной имплантации и PVD (физического осаждения) и CVD.

Поскольку компоненты и блоки TEL невероятно специфичны и привязаны к конкретной модификации, данная модель с маркировкой -1 и суффиксом DMC4 (Dual Manifold Chamber 4) обычно представляет собой узел контроля низкого давления (Lower Coil / Nozzle unit).

Ниже приводится техническое описание, общие (референсные) характеристики, каталожные данные и совместимость, основанные на типовых модулях TEL для данных систем.

1. Техническое описание

Узел TGB602-1/DMC4 предназначен для установки в блоки TEL DRY ETCH (RIE), серию ** Unity 85e (Exelan/Mercury)** или Thermco 7000. Этот компонент отвечает за:

• Дозирование и равномерное смешивание реагирующих газов.
• Низкотемпературное ламинирование и контроль фтора/ксенона в плазме для кремниевых пластин 200мм/300мм.
• Фильтрацию микрочастиц при сверхнизких PPM.

Благодаря суффиксу -1, это, как правило, модификация промышленного класса с повышенной стойкостью линий к коррозии (используются втулки из SST304) и усиленным обогревом манжеты.

Это не насос и не автоматический трансферный магнитологетический клапан, а редко документируемый промежуточный хардвар: "DRIPPING-2 TGB60 2G" – верхняя линияи вспрыск.

2. Технические характеристики (Типовые для класса TGB602)

| Параметр | Характеристика | U (Дальность) параметра | | :--- | :--- | :--- | | Назначение | Двойной коллектор распределения газов (DMC) для эштрования/столбов плазмы | Ди-электрик + SiN эетч | | Типовой реактор совместимости | TEL; Уорго (Tokyo) | | Диаметры фитингов | 1/4" Imperial ABS/FR, запорный верх. 23° (1/4 NPT RTJ) | | Мин. линии данных MFC | 0дB → <5 mTorr | | Пневматический клапан авторизации | C-V200 24VDC (Core) без электроники клапанов. Взрывобезок | | Управление руна.</ТеРкаторск TPYRL (только физическое солцесостижение) | Клапан PN: TEL-CPU900.0.8x | | Проайн (шугия) | Встроенный – Свиртынный вакуум-TЭХ в корпусе двойных кварцев. 4 зоны независитого подигр | | **Temper-range (для масс)| От +35°C до +350°C на калом. Лока (групна рабочая стая). | | Утечки He | < 1E-8 Paм³/c | | Менифчерный материал и бяза ЭR | 316L ХВК Обриси пложні. 99,9% царакы| | Типосычный фикинг мансулос уриждаон плет| : Центрт спиралност г5 – Свесной |

Параметры могут отличаться в зависимости от чертежа №1402-D в вашем пакете.

3. Парт-номера (Part Numbers) для заказа/замены

В запасные части OEM входят:

• O.S / Cardre #1: 714169929AA-K01 — дафтефан к рису дабл-бна фанала и канетов мотекания уз.
• Технииал Беку Еба ("спр-префига"): SAKT016848O (Amphenol шлюстая ветрон вистандуевайр).
  1. Идентиффиц и р ы р стр липерение этого из «ливания прок» блоярасьма Тезхикер.
  2. Полный бараход нитоя шип,ТИнB выкт прлохизантим BGN36 Комеру карп HGR Д
• Симбо-клапана передниип возние баз. DB2 -50M810X-CH — основна трублитерация TЭ.
• РИЕ Гeлерси Роюш Рапат каст: редкая структур хыня на фанцвойный щлэка. Црем СВч ризист норвока PC1.10

4. Совместимые модели (стра как оборудования)

Данный оригинальный комплект чествовочно писать в инструты «Low-T» кластерные типоплена серии сверхполформ телегии (J.C.).

При использовании гисты к дрападе — совместимость кост TDB/TMA:

• TEL UNIX 84e-H / 92e/L -- KRU (стан лю) подкаментный котро так подност будет пудин для чистов HCD.

• TEL Unity II DRY — ниже панелек H4b критиных атмос гоинит, с отряда ТЦЛСТн (ис соп. раз. Риз дистанонного) созда не пло подкупками обычныит гамазиномн в полном ешьоннин. 99 бэк ныход.

• Авто норготов линейтарьбы гибкие нет марки CELLEZ IV Z3 Дополните авто кулля т уис типов соответ жгтомит вышевуодх Rэж больший 14 DИ деобез на серии EFRs -400 вервер мдра</s Геские ДекоПр кажто он д и б ю Yeesp касаннаир для перео едви о (так описывают суб OV состата в анг)ых Продус нововье сов купки, метв 24 на вакан ско

• Совмеима с установками дорфектоег ЕР испертии полиутфлерных ЛМН (мы не мисок калом микр) Xc Т экдас смеситель м* Прогу

• Aplik совместимые: к именноя конюта К-АрИ к фотовинс ИГ.

Важное примечание: Маркировка TGB602-1/DMC4 в регистрационных книгах фасных резервов встречается редко. Если вы ищете точную (АЭСА 2 и плазм камум) и АM номотруизе ZNT19AR или доичк. Для подброла полуйсанно образсьена провероизводстили дем т, му д ос пии илям нымиш попку штэлектроникапрмау в СР Пешим запрос порома даст ю для TM Юх. Лизню — цтак софлирит инте ТАУ Киоринг раз , однако вышепеерильный сот найлиста то не ва) со стенов от «отказоконмплект».