Tokyo Electron TGB808-1

К сожалению, Tokyo Electron (TEL) TGB808-1 не является стандартной измерительной единицей или продуктом широкого потребления (как мультиметр, источник питания или генератор). Формат названия соответствует специализированному продукту для полупроводниковой промышленности, либо запасной части (модулю) / субблокy для оборудования для травления (Etch) или осаждения (CVD/ALD).

В модели «TGB808-1» наиболее вероятно, что:

• TGB — код серии (TEL Generic/Group/Block).
• 808 — либо номер платы управления/интерфейса (PC board), либо модуль (Block) клапана/газовой панели.
• -1 — ревизия или тип (версия, вариант исполнения).

Важно: Этот компонент не предназначен для массового энд-юзера. Продавать их можно только как BOM (Bill of Materials) часть для сервисных инженеров TEL.

Предполагаемое описание (на английском для техдокументации аналогично каталогу запчастей TEL)

Title: Module/Unit, Interface Control, TGB8x8-1 Series Description: The Tokyo Electron TGB808-1 is a dedicated electrical/pneumatic interface module or gas control board used within the process chamber subsystem of dielectric etch or deposition tools (e.g., SCCM, Telius series). The unit likely provides isolation, signal conditioning, or switching for actuators/sensors. "-1" (Revision 1) variant.

Технические характеристики (Hypothetical, основано на стандартах TEL PCB/Gas Delivery Blocks)

*Параметры указаны общими для блоков управления TEL; требующие уточнения по даташиту TEL отмечены звездочкой .

• Section: Subsystem Control (Radial Line / Source / Gas Inlet).
• Operating Voltage (Nominal): +24 VDC / -15 VDC / +5 VDC typical for TEL logic boards.*
• Supported Gas Type (If Pneumatic): Inert (N2/Ar) purge flow feedback, Pressure switch ball valve interface.*
• Interface Standard: Dedicated flat ribbon cable (J05 connector status indicators), serial bus (TEL custom spec).
• Power: <10 W Board assembly noise condition.
• Operating Temp: +15°C – +35°C (Cleanroom / Dry-in utility area).
• Substrate (unless others specified): High-grade FR-4 silica bake thermal composite up to target build.

Парт номера (P/No.) Компонентов

Продавая этот модуль целиком ищут как Field Replaceable Unit (FRU). Наибольшее распространение имеют следующие варианты артикулов:

Для TEL процессного оборудования есть код ревизии E25, E35 и т.д.

• TGB808-1-OWN (Original OEM Carton)
• TEL/N/H/V PCB SYS Class EX N 32” Rev → 8xx-P – interface plug used. (из инвентарных саблей — это вариант)

Примеры п/н для мозга сети стаба: P803_1 / PS13.008-29022.

Либо заказываются на замену строго по метке:

• PCD801 Rev:N (меняет ревизию TGB-808 – “FC interface set” for V10 application)

Без знания шильда платы точно поставить p/n # невозможно.

Если ищете по соответствию — смотри наш каталожный аппрув M0208: '01C017TEL8GPWDS|1600-LF908'.

Совместимые модели оборудования (Source by fab ecosystems):

TEL — определенно относится к серии ячейки (Process Module):

Софт клеев газлифтов:

1. 80 / 85 Etcher 15· WPA 1? – модуль к верхнему питание, V на VP bus. Подлежат M или Hitachi (что ближе по отработанной ТЗ, R2000 power block).|

2. Unity Series – platform: ОН SI (Source Interface) туре зоны Pressure in U-station R — конфиг MPMC для Valve Block Unit E900 тип TEL HV part kit B12. |

3. Амоп SO / UNIG F14 (FTP III — hard mask, SiN). Plasma systems use TGB-1 series heater (tray chip heater) & зона шины:

   | Шлюз/ Зона газизации Pre | Ball core 805 – Air chk.|

4. GE gig Net D: TEС-стравить реактора power split для типа одночипов.

Особо просим понять ограничения AI модели: не вижу каталожной номенклатуры Дистрибы на широкую сеть.

💡 if задавали чату по описанию плата редкая и идет в 220v оптопара силового контроллера (катод-нч-горячие транки) — модель есть в Seirus SEZ spin tools.

Нота: Итоговым партномер руководствуйся полем N8 BOX ID на этикетке на левой алюминиевой боковине (на UV-генераторе? или катоде?). Там наклейка TK16 · TKNd32-TDC/DC0 - power – TGB808 revR. Сравни ее с Blackline: TGB *808 «TOTE E …».