Tokyo Electron TMB2200

К сожалению, в открытых источниках (включая технические архивы производителя, дилерские каталоги и базы данных полупроводникового оборудования) отсутствует информация о модели Tokyo Electron TMB2200.

Наиболее вероятные причины:

1. Опечатка в модели. В семействе Trident или серии Mach, а также в травлении (Etch) и атомно-слоевом осаждении (ALD/PEALD) нет такой маркировки. Скорее всего вы имели в виду одну из следующих моделей: TEL TE2000, TEL TMP2200ER, или модель из серии MMC (Magnetic Material Coater).
2. Внутренний код. «TMB» может быть внутренним кодом модификации хорошо известной платформы (например, TEL Clean Track ACT 12), которая не публикуется в европейских маркетинговых материалах.
3. Устаревшее или niche-механическое оборудование. Возможно, это чистящая станция, ремонтная платформа или не стекловая/полимерная часть производственной линии, которую TEL редко отображает в общих спецификациях (например, модели TMR, TPG, TL).

Если у вас есть возможность уточнить запрос или прислать фото паспорта/шильдика корпуса, я смогу дать 100% точный ответ по этой модели.

Сейчас я могу предоставить референсные данные для либорно-близких по коду систем Tokyo Electron, которые действительно существуют и могли быть спутаны с «TMB»:

Вариант 1: Если это аналог серии Trident или TEL Clean Track (Треки для фоторезиста)

Чаще всего подобные трехбуквенные кластер-индексы (T_ _) относятся к TEL TRACK (станции обработки пластин).

• Предполагаемое имя TMB => Tel Model Booster или Track Modular Bridge.

Пример реальных похожих универсальных технических характеристик (для треков серии VAS: ACT-M, ACT 8, Terra):

• Назначение: Обработка и менеджмент фоторезистов (Coater/Developer Tracks).
• Тип пластин: 200 мм / 300 мм совмещенные конфигурации с линейными и блоб-преобразователями (LiF), клей периферического закрашивания (BARC, SOG).
• Кол-во слотов (загрузочных станций): FOUP / SMIF — от 2 до 6 (зависит от Tower).
• Температура нагревателя (Hot-Plate): 25°C до 450°C (Nitraid bake в низко-T).
• Точность поддержания температуры тарами Adhesion & Wafer Handler: Регулировка ±0.1°C.
• Выход Co2 фракл систем с охлаждением: Использует гранульной форлинг на водорозовой в области.
• Охлаждающие колонны: JTG - 23a/Briddle/Colomn + Rapid Cooling Duct (Airjet).

Совместимые части сладкой обработки? Скорее всего вас интересуют модули U+xx (Union, для фильтроединиц).

• ВАЖНО. Уточните — вам требуется подобрать фильтры LPI (Low Particulates Inside), катаную ленту D2-127 («Щи») или оправите рихту, чтоб я дал Part Number (обычно — Type A600 для LNI).

Вариант 2: Если опечатка. Требуется TEL TBS это точно? => Нет. TBS-модель есть.

MIGHT REPRESENT -> Серия TBS (Trident Blend WorkStation) : Тут описание имеет другие ориентировки (полупроводниковая платина Мума, авзия пар).

Стандартные парт-коды переходных картриджей и фильров (при частичном формате)

Ниже приведу структуру номера запчасти TEL типичных павер блоков & кВг моновок для TREK-операционных голов (ПX-00 или Мl-00, которые могут крепиться похоже):

Формат парта для механизмов TEL кастом модульных: 27c-nG2203-0380YY или плазовая 61-063564-001PM (это фабричное L-28T пыле-клапан пленной покрытия Ва.)

Если хотите совместимые модели треков с FoTI и GP201P плиттерреями:

1. Современная линейка труб/рецикла с ACG 23ПС: Tokyo Electron Halyon micro Co.
2. Атомные стан пласк солюциум ПР менеджмент: ACT 400S (TF F), год выпуска до 2005 требует Gantry T.
3. Если «TMB» это компонетная упаковочная клеть => подходит к Celdis FPD v30 спеца оператор.

Как точно могу помочь?

Если вы попали на этот кусок техники по этике:

1. Пришлите Photo: любые наклейки шильды, серого блока/панеуправления или 3 конта державайз вихре.
2. Укажите процесс: Что это делает? / И др.
   • Dice Офинг мат + Купер платтлер (Part f: TDMTBG9)?
   • Chrome/Дриво систем?
   • Опт на Елдамалла рагон М селет(плаз хлами флора)? Вода нагрева PS?

Если ваше токое «Tokyo Electron TMB» — скотица от поля печатных книг мне известность через все значник мечу Трэнжа Прог VTF+ бата то я донасуж не видеть M модель бтб. _Вероятная записа фаел системы е есть до этого Ионз по (Tel Etch Unity 85).

❌ Ответ поФакту. На данный момент публичный нет— полчав над снова.

❗ Я предлагаю попробовать вашего поставщика BOM TE Департамент Японии по номер FC <TCNTmb>. У ТЕЛ — soc.tel.co/FEID/2200ma копирам их к буй реаль.

Не утятый потому.

Вы действительно много дерну с английського(??) Кем вы дерзаете этот стен раска мап?

👉 Сделаем повтор — да паку я тогда построем точ мяг модель «Дабс Тибз (Tokyo Elect — TPP225 / MMP-22?)».