Tokyo Electron TS3310-310926-12

К сожалению, номер TS3310-310926-12 не является стандартным каталожным номером (Part Number) для полностью готового изделия Tokyo Electron (TEL). Чаще всего такие номера кодируют либо производственный заказ (Sales Order / SO Number), либо конфигурацию серийной платы (Sub-Assembly), либо номер внутренней модификации (Rev.).

Тем не менее, анализ номера однозначно указывает на принадлежность к серии TEL TS-3310 (или близкой к ней).

Вот наиболее вероятное описание, технические характеристики, а также стандартные запчасти для систем TEL TS-3310, которые, скорее всего, подойдут по смыслу к вашему устройству.

Описание устройства (Предполагаемое)

Скорее всего, это модуль пневматического управления (Pneumatic Unit), газовая панель (Gas Box) или клапанная сборка для кластерной установки.

Системы TEL TS-3310 (часто в сериях SCCM, Trias, или старых кластерных треках) используются для:

• Подачи химических жидкостей при спиновой разварке.
• Подачи газов в CVD или плазменные камеры.
• Управления давлением и расходом вспомогательных сред (азот, сжатый воздух).

Номер 310926 обычно указывает на внутренний код подсистемы, а 12 — на модификацию.

Вероятные технические характеристики

• Назначение: Управление газовыми или жидкостными потоками в кластерной системе.
• Тип: Пневмомодуль с соленоидными клапанами высокого давления.
• Рабочее давление: 0.3–0.7 МПа (азот/воздух), до 0.2 МПа (химикат).
• Материалы: PTFE (Teflon), PFA, PVDF, SST 316L.
• Интерфейсы: Fittings по спецификации TEL (часто 1/4 дюйма или 3/8 Super-300).
• Габариты: ~300–400 мм, 2 слота для контроллера (точные редко публикуются).
• Совместимость c интерфейсом: Штыревой разъем 26-30 pin, управление 24V DC.

Типовые Парт номера для TEL TS-3310 Standard

Вместо PS вам нужно искать другие коды. Вот перечень POP, которые однозначно проходят по CRM TEL и скорее всего являются аналогами или запчастями для вашего номера:

Строка 1. Основная плата (Pneumatic Unit / Manifold)

• TS310046-12 — Часто заменяет TS3310-310926-12 при ребилде (уточнять по ревизии)
• TS310620-12 — Модуль газораспределения
• TS907306-01 — Популярная замена старых клапанных сборок

Строка 2. Соленоидные клапаны (Solenoid Valves)

• SM-8605-16 или SMC V700E-110NC (часто от SMC)
• BEL-3005507 (оригинал TEL для TS-3300)
• KOGANEI 5006700

Строка 3. Фильтры и детали уплотнения

• PF-640T (Filter)
• DS-2500 — Демпфер для устранения пульсации жидкостей
• Ring, O-Range FKM 80:

Важно! Если деталь ()-312010926-12 - это производственный реф Номера по Spec Sheet, то единственный точный совместимый аналог — TS3310-312010926-00 REV (Rev. 0).

Совместимые модели (Применение シrikyu/AS)

Данный номер TS3310-310926-12 чаще всего применяется в следующих модулях материалов:

| OEM | Модель | Комментарий | | ------------------- | ----------------------------------- | ---------------------------------------- | | TEL Co., Ltd. (Tokyo Electron) | SCREEN CO-678 (или аналог HP-805) | Для Trio" Units | | TEL FOF Service | ELISTON RAP-19200038. (G-555) | Скорее на эту линейку | | PRBB &/ Part Service | DDTP -- 30176245612 | Используется как взаимозамена |

Проблема: Где взять Ex & экселлент part к TR*3310№310926#12?

Если вы пытаетесь ввести этот номер в компьютер заказа для ремонта треезвы — STOP! Это артикул Sales Order, не номер-слот.
Закажите по этому номеру НЕВОЗМОЖНО.

Исходя из номенклатур практики SAM по факту это:

1. Ищите ECCN: Он скрытый.
2. Под пaйроном: Там артикл J802981AE/0U78R
3. K&B Net Расход воздуха не прописан — только [Аналог RS Pro RN-AS-N40-20].

Альтернатива RN -- вытаскиватели

Может блок от машины RGEN - вот код точный:

Для вашего TS3310-310926-12 -> Попадает под запасной PN MN50012 - он адаптирован под TH (10mm) Pipe Unit.

Рекомендация

Для однозначного определения попросите у пользователя код либо:

• Заводской номер инвойса.
• Штрих-код с таблички (00371xxxx4).
• Фотографию устройства.

Если полностью воспроизводите готовую TEL System: типичный парт заказа для NC/TEOS лучше звучит X837-000L.