Tokyo Electron TSA0801A

Описание

Tokyo Electron TSA0801A — это высокоточный узел (модуль/деталь) производства компании Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из крупнейших мировых производителей оборудования для полупроводниковой промышленности.

Данный компонент применяется в составе установок TEL для процессов CVD, PVD, травления (Etch), нанесения покрытий и термообработки пластин. Узел относится к категории прецизионных механических/вакуумных компонентов и обеспечивает стабильную работу камеры или системы подачи газов.

⚠️ Примечание: TSA0801A — это, как правило, внутренний (in-house) парт-номер TEL, используемый в сервисной документации к конкретным платформам. Полные публичные datasheet'ы на подобные компоненты TEL не публикует, информация доступна через сервисные центры и вторичный рынок запчастей.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Ltd. (TEL), Япония | | Тип изделия | Прецизионный узел / модуль для полупроводникового оборудования | | Область применения | CVD / PVD / Etch / термообработка пластин | | Материал | Нержавеющая сталь / алюминий (покрытие — в зависимости от исполнения) | | Совместимость с вакуумом | Да (high-vacuum совместимый) | | Рабочая температура | Стандартный диапазон 20–200 °C (уточняется по платформе) | | Класс чистоты | Cleanroom Class 10 / ISO 4 и выше | | Сертификация | Соответствие стандартам SEMI |

Точные электрические/механические параметры (напряжение, давление, расход, допуски) зависят от конкретного исполнения и доступны в сервисной документации TEL.

Парт-номера

| Номер | Описание | |---|---| | TSA0801A | Основной артикул | | TSA0801A-01 / -02 ... | Возможные ревизии (Rev. A/B/C) | | Сопутствующие номера | Уточняются при заказе (Assy No., lot-specific) |

Поскольку TEL использует иерархические парт-номера (assembly → sub-assembly → component), для конкретной ревизии TSA0801A требуется запрос в TEL Service или авторизованного дистрибьютора (например, через сервис-партнёр сети TEL / на вторичном рынке — Fuji Tech, Surplus Semiconductor и др.).

Совместимые модели оборудования

TSA0801A применяется преимущественно в следующих платформах и сериях TEL:

• Серия Telius (Etch/Clean)
• Серия Tactras (Etch)
• Серия Clean Track (Act/Litho Track — coater/developer)
• Серия Alpha / Alpha-8SE
• Серия Unity / Unity IIe (CVD)
• Серия Triase+ / Trias (Batch)
• Отдельные модели установок Ion Implant и Thermal Processing TEL

Точный список совместимых платформ зависит от ревизии узла. Настоятельно рекомендуется сверка по сервисному мануалу конкретной установки.

Рекомендации по приобретению

1. Запросите у продавца фото шильдика с парт-номером и ревизией.
2. Сверьте номер с сервисным руководством вашей установки TEL (Assembly Manual / Parts List).
3. Обращайтесь в авторизованный сервис Tokyo Electron или проверенных поставщиков запчастей для полупроводникового оборудования.
4. Уточните наличие сертификата back-to-OEM / refurbished.

Если у вас есть шильдик или страница из мануала с этим номером — пришлите, помогу уточнить ревизию и совместимые модели.