Tokyo Electron TSP-305D — Описание и характеристики

Общее описание

Tokyo Electron TSP-305D — это установка химической обработки пластин (track system / coater-developer), разработанная компанией Tokyo Electron Limited (TEL) для полупроводникового производства. Система относится к классу оборудования для фотолитографии и предназначена для нанесения фоторезиста, антиотражающих покрытий (BARC), а также проявления (developing) после экспонирования.

Обычно TSP-305D работает в связке со степперами/сканерами (например, от Nikon, Canon, ASML) и обеспечивает полностью автоматизированный цикл обработки пластин диаметром 200 мм (8″) — от загрузки кассеты до выгрузки готовых пластин.

Основные задачи системы:

• Нанесение фоторезиста методом spin-coating
• Нанесение BARC / top-coat
• Сушка и отжиг (hot plate / chill plate)
• Проявление (puddle development)
• Промежуточная очистка и промывка
• Транспортировка пластин между модулями

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Limited (TEL) | | Модель | TSP-305D | | Тип оборудования | Coater / Developer (Track system) | | Диаметр пластин | 200 мм (8 дюймов) | | Тип кассет | Стандартные SMIF/FOUP или открытые кассеты (в зависимости от конфигурации) | | Класс чистоты | Соответствует требованиям cleanroom Class 1–10 | | Интерфейс с экспонирующим оборудованием | Inline / Offline (зависит от конфигурации) | | Количество модулей | Настраивается (coater, developer, hot plates, chill plates) | | Скорость вращения spin-coater | ~500–6000 об/мин (типовое) | | Точность температуры hot plate | ± 0.5 °C (типовая) | | Управление | Microcomputer / workstation с ПО TEL | | Питание | 200–208 В AC, 3 фазы, 50/60 Гц | | Потребляемая мощность | ~10–15 кВт (зависит от конфигурации) | | Габариты | Зависят от конфигурации (обычно ~2–3 м в длину) | | Масса | ~1500–2500 кг (ориентировочно) | | Год выпуска (типовой) | Конец 1990-х — начало 2000-х | | Поддерживаемые процессы | Photolithography, BARC coating, development |

⚠️ Важно: точные характеристики зависят от конкретной конфигурации и года выпуска. TEL часто поставляет системы в индивидуальной комплектации под требования заказчика (fab-specific). Для точных данных необходимо обратиться к official datasheet или сервисному мануалу.

Парт-номера (Part Numbers)

Официальные парт-номера TEL являются внутренними и не публикуются в открытых источниках. Все они имеют закрытый формат и доступны только через:

• TEL Service Portal (для авторизованных клиентов)
• Официальных дистрибьюторов TEL
• Сервисные мануалы (Operation Manual, Maintenance Manual для TSP-305D)

Типичные категории запчастей, для которых существуют отдельные парт-номера:

• Сменные модули spin-coater (cup, nozzle, exhaust)
• Hot plate / chill plate assemblies
• Роботы-транспортёры пластин
• Насосы для фоторезиста и проявителя
• Датчики, контроллеры, платы управления (PCB)
• Керамические и кварцевые компоненты
• Фильтры и уплотнения

Если вам нужны конкретные парт-номера — рекомендую обратиться в ближайший офис TEL или к authorized service provider с указанием серийного номера вашей установки (он наносится на шильдик шасси). По нему TEL выдаст полный BOM (Bill of Materials).

Совместимые модели и оборудование

TSP-305D обычно работает в интеграции со следующим оборудованием:

Степеры / сканеры (экспонирование):

• Nikon — серии NSR (NSR-2005, NSR-2205, NSR-SF, NSR-EX и др. для 200 мм)
• Canon — серии FPA (FPA-3000, FPA-2500 и аналоги)
• ASML — PAS 5500 серия (модели для 200 мм)
• UltraTech — некоторые модели

Вспомогательное оборудование:

• SMIF / FOUP — системы загрузки (Asyst, Brooks)
• Резисты и химикаты — совместимы с материалами JSR, TOK, Shin-Etsu, Sumitomo, Dow (ранее Rohm & Haas)
• Инспекционные системы — KLA, Hitachi (для post-develop inspection)

Аналоги и родственные модели TEL:

• TEL CLEAN TRACK ACT 8 — предшественник/родственная платформа
• TEL CLEAN TRACK ACT 12 — для 300 мм
• TEL TSP-30xx серия — семейство треков для 200 мм
• TEL MARK 7 / MARK 8 — ранние платформы

Рекомендации

1. Для покупки/продажи — запрашивайте у продавца серийный номер и полный список опций (какие модули установлены).
2. Для запчастей — используйте серийный номер и обращайтесь напрямую в TEL или к проверенным брокерам (например, Surplus Semiconductor, SemiStaff, ATI).
3. Для документации — официальные мануалы распространяются только через TEL Service Network.

Если у вас есть серийный номер установки или фото шильдика, я могу помочь уточнить конфигурацию и подсказать, где искать конкретные парт-номера. Хотите, чтобы я также составил список типовых неисправностей и регламент ТО для TSP-305D?