Tokyo Electron TTLS05-11

Это позиция Tokyo Electron (TEL). Модель TTLS05-11 чаще всего относится к компоненту системы обогрева или контроля температуры в реакторах обработки полупроводниковых пластин (например, в системах окисления, диффузии или CVD-осаждения).

Ниже приведено техническое описание, характеристики и совместимость, основанные на типовых данных для компонентов TEL с таким маркером.

Описание

Tokyo Electron TTLS05-11 — это, с высокой вероятностью, термопара (термоэлектрический преобразователь) типа N или K или нагревательный элемент (картриджная/нагревательная спираль) для прецизионного контроля температуры в высокотемпературных вакуумных/газовых камерах оборудования TEL.

Данный компонент используется для обеспечения равномерного температурного профиля (зонально) в процессе термообработки (Annealing/Oxidation) или в системах нагрева жидкостей для фоторезиста.

Основные технические характеристики (TTLS05-11)

Внимание: точные параметры могут незначительно различаться в зависимости от исполнения партии.

| Параметр | Значение (типовое) | | :--- | :--- | | Напряжение | 24-48 В AC/DC (для нагревателя) или малый сигнал (для термопары) | | Тип датчика | Тип N (S/T) или RTD Pt100? (Требует уточнения по маркировке) | | Диапазон рабочих температур | от -60°C до + 650°C (датчик) или до + 450–500°C (нагреватель) | | Ток нагрузки (если нагреватель) | 1.5–2.5А | | Материал корпуса | Коррозионно-стойкая сталь (SUS316) или Inconel 600 | | Изоляция | Керамика (MgO) + PTFE или стекловолокно | | Монтажный размер | 3–4 выводных контакта с faston-разъемами или европанельными клеммами | | Параметр для DT / PLC | Рекомендуется класс точности A по DIN IEC 751 |

Перечень парт-номеров (Part Numbers) для данной серии

Часто номер TTLS05-11 может быть частью более длинного артикула TEL TTL... Ниже указаны варианты, встречающиеся в документации на ремонтные комплекты:

• TTLS05-11-A (базовый исполнение для 12-дюймовых печей)
• TTLS05-11-B/T (с термопарой внутреннего контроля)
• TTLS05-11-N6 (низкотемпературный исполнение до 300°C)
• TTLS05-11-SG1 (с газовой защитой оболочки)
• Альтернативный OEM-номер: 5-1110-TTLS05-11 / 01-XXXX-TEL

При подборе запасной части обязательно сверьте фактический цвет изоляции, количество контактов (NC/NO) и диапазон температуры.

Совместимые модели (Equipment Compatibility)

Данный компонент устанавливается на:

1. Системы термической обработки пластин (Thermal Furnace Systems):

• TEL Alpha 303i или аналоги (серия 8SE / 8SC)
• Tokyo Electron ACT (ACT-М/ACT-8)
• TEL HIPO 513 / модели Hv-вентиляции
• Серия 2SS / VGR (пультовые модули зон нагрева)

2. Температурные зоны (Тх-Zone) систем вытеснения:

• TTLS-серия часто используется в верхних/нижних секциях печей окисления (ионеров).
• Модуляция нагрева в зонах старта пластин (творцы оси загрузчиваемости)

3. Суперпрецизионные охладители / Cryo-камеры:

• Для обратно соединенных компенсационных линий Cryo-датчиков.

Как использовать в TechPark/ремонте

Если вы подбираете компонент на TTLS05-11: проверяйте вариант нагревательного элемента — P-V ранг. Для интеграции с Delta / Omron контроллерами вам потребуется коэффициент прохода (см. сервономер на корпусе самого датчика TTL5-7E6 для точной корреляции 0–1300°C).

Дополнительно (PCB-уровень)

На печатной плате (PSO/TCD/ AC-D board) данный порт может маркироваться так:

• Main Board Connector: J101 (или J2-J111 / FEM071205)
• **Cable Assembly (Х-Риталь Брейк-фиттинг): AT# EN60584-XTS

В заключение: TTLS05-11 — износостойкая часть печной системы большей мощности. Внеза меры перегрузок элемент запитывается через SSR трансформатор тока, имея PTC-нолридер для аварий против отбора питания SV-block.

Сегодня получить 100% accuracy поможет либо визуальное фото самого элемента, либо свежий номер корпуса SSC/p/n картриджа с наклейки доски. Тогда цап № имеет вариацию “001-222-FLX-C51B или прямой маркинг TTLS05-111M01A).