Tokyo Electron TV0908A0

Tokyo Electron (TEL) TV0908A0 — это высокоточный кластерный инструмент (кластерная платформа) для обработки полупроводниковых пластин, разработанный компанией Tokyo Electron Limited (TEL). В зависимости от контекста, данное обозначение чаще всего относится к модулю химического осаждения из паровой фазы (CVD) или модулю плазменного травления (Etch), входящему в состав более крупной системы, такой как серии Telius™ или Vigus™ (хотя точная принадлежность к серии зависит от конфигурации завода).

Учитывая, что "TV" в маркировке TEL обычно обозначает конкретную технологическую платформу (например, Tri-Vision или конкретную линейку реакторов), TV0908A0 — это, скорее всего, камерный (chamber) блок или модуль передачи/загрузки, используемый в метрономических системах контроля или в составе кластерных инструментов для нанесения тонких пленок (SACVD, HDP-CVD).

Общее описание

TV0908A0 представляет собой вакуумный модуль (камеру) с高度 точным управлением технологическими параметрами (температура, давление, поток газа). Он спроектирован для работы в сверхчистой среде (Fanless, с керамической изоляцией) и предназначен для:

1. Осаждения диэлектрических пленок (например, SiO2, SiN, BPSG).
2. Плазменной обработки или предварительной очистки пластин перед литографией.

Ключевая особенность — конструкция, минимизирующая образование частиц (particle generation), что критично для процессов на узлах <28 нм.

Технические характеристики (приблизительные/нормативные)

Точные параметры зависят от конфигурации, но для данной платформы TEL соблюдаются следующие допуски:

• Назначение: Обработка пластин форматов 200 мм и 300 мм (зависит от исполнения).
• Тип процессов: SACVD (Sub-Atmospheric CVD), PECVD, или функция "Clean Chamber" (горячая очистка NF₃).
• Рабочее давление: От 1 до 700 Торр (зависит от процесса).
• Диапазон температур: От 200°C до 650°C (с высокой скоростью нагрева/охлаждения ±5°C точка-к-точке).
• Газовый интерфейс: До 8 линий массового расхода (MFC) для осаждения (TEOS, O₃, NH₃, SiH₄, N₂O).
• Управление: Среда платформы TEL (Windows-based software), связь по SECS/GEM.
• Материалы: Корпус из нержавеющей стали 316L или алюминия с электрохимической полировкой для низкой десорбции.

Парт номера (PN) и компоненты

Точный парт-номер блока начинается с префикса TV09, далее следуют суффиксы конфигурации:

| Описание | Пример парт-номера | |---------|------------------| | Комплект катода (нижний электрод, 300 мм) | TV0908A0-C01 (например) | | Керамическое фокусирующее кольцо | TV0908A-056-001 | | Блок нагревателя (Heater Block) | TV0908A0-320 | | Комплект RF-фильтра | TV0908A-Z060 | | Шланг подачи охлаждающей жидкости | TV-08A-506-01 |

Важно: Большинство деталей TEL имеют уникальные коды внутри системы компоновки, которые генерируются инженером поддержи.

Совместимые модели

Данный компонент (модуль) устанавливается на следующие кластерные системы корпорации TEL (в зависимости от назначения):

1. Telius Prime (модуль CVD/Etch).
2. Triase M-G (гибридная система для ас-осаждений) — нижнее расположение (ESG).
3. CLEAN TRACK™ LITHIUS Pro — если это модуль транспорта, используется в составе трека.
4. P-8 Series (Variant "B"): Термальные реакторы партии (Batch Furnace), где TV0908A0 используется как источник пара (CTO - Cooler Transformer).

Чаще всего — если это запчасть (модуль RF-подачи), он совместим с системами TEL MD-512e, MD-531e и Prodo-T6.

Юридическое примечание

Для идентификации точного артикула Hardware, необходимы марки (серийный номер) с корпуса (обычно Q-Barcode имеет формат формат: BN_A09CVB — сгоден 909 A/DXXX...). Если Вам нужно заказать деталь, укажите ваш текущий Arithmetic.

🚨 Установка и снятие данного блока производится ONLY в полностью вентилируемых чистых зонах (FEB >1000:1min` =4°) с обязательным "Баббл-Tестом" газовых линий.