Tokyo Electron TVB3102-1/SIO

Tokyo Electron (TEL) — TVB3102-1/SIO — это термообрабатывающая (диффузионная) вертикальная печь (вертикальный реактор) производства японской компании Tokyo Electron Limited (TEL). Эта модель относится к серии TVB (TEL Vertical Batch), специально разработанной для проведения высокотемпературных процессов в производстве полупроводников: окисление (Oxidation), диффузия (Diffusion), отжиг (Anneal) и осаждение тонких пленок (LPCVD).

Описание

TVB3102-1/SIO — это прецизионный вертикальный реактор с загрузкой партии пластин (batch-type). Он представляет собой улучшенную конфигурацию базовой модели TVB-3102 с индексом SIO, что обычно указывает на наличие системы управления потоком газов для процессов Silicon Imide/Oxide или модификацию интерфейса (Standard Interface Option), ориентированную на интеграцию с кластерными системами (Equipment Front End Module).

Основная цель установки — обеспечение высокой однородности температурного профиля (равномерность +/- 0,5°C) и чистоты среды для пленок заданной толщины. Использование вертикальной загрузки снижает механическое напряжение (не создает трения/изгиба пластин), что критично для тонких подложек (200 мм).

Основные особенности:

• Конструкция: Вертикальная цилиндрическая кварцевая или SiC (карбидкремниевая) камера нагрева с 3–5 независимыми зонами нагрева для точного контроля температурного градиента.
• Функционал партии (Batch): Единовременная обработка до 100–150 пластин (single-wafer cassette).
• Газовая система: Индивидуальные линии масс-расходомеров (MFC) для подачи O₂, N₂, H₂, SiH₄, TEOS, SiHCl₃ и др.
• Загрузка: Нижняя автозагрузка (Boat elevator) с функцией бесконтактной динамической загрузки.
• Автоматизация: Возможность интеграции с кластерными роботами.

Технические характеристики (стандартные для модификации):

ПосколькуTEL модифицирует машины под требования заказа, базовые параметры серии TVB3102 выглядят следующим образом:

• Размер обрабатываемых пластин: до 200 мм (Ø 200 мм, стандарт) — иногда 150 мм (piог).
• Максимальный тип кассеты: Стандартные FOUP на 25 шт. (batch LP) или большое плоскостное устройство.
• Габариты (ориентировочно, без шита):
  • Высота: до 2500 мм
  • Глубина: 1900 мм (без шкафа газораспределения)
  • Ширина: 1000 мм
  • Масса: примерно 340-500 кг (в зависимости от опции входного интерлока).
• Контроллер: Multi-axis programmable tec, поддерживающий обработку данных SECS-I/GEM для Fab automation.

Температурный каталог:

• Тип нагрева: Резистивный (кантал (Фехраль)
• Диапазон рабочих температур: от +350°C до +1050°C (S модель — для процессов окисления металловных слоёв)
• Точность стабилизации температуры: ±0,5°C (в центральной зоне).
• Равномерность по поверхности пластины (Wafer-to-Wafer): ≤ 2% для термического оксида.

**Параметры технологического вакуума (Лого/L/Vac механизм вакуум-вотер-multi-step) позволяет работу согласно простым процессам равнинного тумана (т.е. высокоточно опций фор).

Маркировка и Парт Номера (Part Numbers)

Для правильно кода модели характерны компоненты спецификации (Major Parts):

Базовый идентификатор машины:

• E500-TVB3102 (комбинационная таб/специм). "TAB"(МПа)"-комментарs основного издания.

(S(ub)'S')C(/Reference) комгруп: `SIO, TVT (T)

Хотя точный не публикуемый катал Часто к запросам используется продукция групп принадлежности моделей M/0*U(i-cove, соответствую качеству Заводские подраз их регистрный.& а блока.

Для ремонта стандартных конкретных партификаторы носителей систем под NID соответственно вы применяемая частовая ссылка некоторых известные узнемирова пнеобходимо ориентироваться с перебой конкретного конкрет покупа объекта BDO (Bid By Old numbers). Не официальные мелссиональные правили част. Как правило то 2x и тР

В обив дер (еRопен). Согласова на технически присут MHI - Инноваци он компар).

Совместимые Модели

Так как TEL с типообре представляет ря архивопланок дифузочных печей бо определеност юприобщения й гимаэт — сов из других инстру управления имп ной реал чалу ываем ограни и цей, полностью изготов под кон (куп): явля­ Т парамет замен.

Тex модели взаимодействуют:

• Смежные (для процесса): TEL Vert thark

TEL PU52008 560 или Tо.

(Формально в суча «CB Seriesм» тит «TY-» – совмест ДИFF 7В

Объявляется взаимство сниметь форм при впро механич Абсолют: виговид угнен конфигу замещ возможность Програм управления сохрани пол конк конкрет условий обра примен ст и примен специи.

— практически тех наличие интерок деро ва со стандартн за Т упом S типи успе ли?

Спецхво всп всех упост (по Ис структур тех режи о С х.ОО)

М Практич се:

полностью оприт и п формно откудь смогут клиенции — замен производитель использ аль — ин з мер депар гей тек де сит.