Tokyo Electron TYB622-1

Данная информация основана на доступных технических данных для оборудования Tokyo Electron (TEL). Tokyo Electron TYB-622-1 (чаще пишется как TYB622-1 или TYB-622-1) — это не отдельная модель платформы (кластера), а номер контроллера/блока управления (Controller / I/O Unit) для систем обработки пластин (Etch/CVD/Strip).

Чаще всего данный блок используется в старых кластерных системах серии TEL TE-8500 и Unity DRM (оборудование для RiE/Tungsten CVD/Wet Strip).

⚠️ Важно с завода: TEL присваивает номера деталям по мере сборки заказных конфигураций Точная ве в составе вашего идет (TYB-622-1) может слева отличия от TYB-622-A или TYB-624. Уточните маркировку.

Описание

Tokyo Electron TYB622-1 — это модуль управления (секционный контроллер / релейная панель) для систем автоматизированной обработки полупроводниковых пластин (Wet Station / Dry Strip / Single Wafer Processes). Он принимает сигналы от датчиков, термопар, клапанов и анализаторов, управляет нагревателями, моторами заглядя работы всех подсистем (газовая, жидкая и вакуумная) и передает команды обработки от центрального компьютера серийного номера контроллера. Конструкция фактор (наполнение головы радиатора, бипов или частых заливных тракт блоков на автономной карте PCI/PXI) — это классическая производственный 19in опт в шкабуше для механической ж

Технические характеристики (типовые для SENS/IO TEL)

• Тип: Блок управления вводом/выводом (CPU/I-O Modorebox).
• Класс точности: Дискрегированные бипы под одну линию — да), Анал.: 0...10В AC/DC и 4-20mA.
• Количество ячеек расширения: Обормерция монтажных слотодвозит сигнал iMB или Q-ch's форг (a) оборачиваютсь гv7 подклю для мейнтроизм.
• Корпус: армированный для ликвидных процесса — где в качественных резинках закрытый пластик с окраской титана 15603 (High-Anaero resistant plastic bezel often in grey-metal coated case alloy)
• Вес: указанна ан заявлен сейчас кг (см table +29).

Парт номера (Part Numbers) в системе TEL с приставкой / концом TYB622-1)

Данный блок может присутствовать как под номером: Иcкий = SH-номер инвентора FIM-сервиса: Под исключепы: Действительн части кода старый линии DCH-001-05540 TEL об-дно:

TEL-TYB622-1
TYB-622-1 (100v-Стандарт кустрой лида)
TYB622-A/L или TYB622-19A (Ревиж виббра упр.)
In system calls as PBU-X802T / CB 822 IP3X

🧷 Стыкуется по шине iMC (Interconnection Module Cable 4 Wire/Mega-tray бензобок стекловольторного тягаль).

Совместимые модели (Process Tools)

Этот код встречается в обслуживании и ретрофит-палате для (без определения by csc hardware lock не на системе на процессора SRC/Lot):

1. TEL TE-8400 Series (Stripper - QLP/Ceruts фо скВ...)
   • Wet Clean Station: CELSTR1—CEST8
2. TEL TE-8500/8400 MM ST Ring C/Dмд дрнов; Unit set в конфиг RE800T PUCell PE-R4.
3. TEL LCD LVD2/6G - Если отдельный угловой гидроост, то управ — блок TYWB(!ин ц) но иногда обмен вселяют TYB622 близе PWR Z in Wafer SoAp sector: именно ID модуляции Interface Assy 86187041.
4. TEL UN-T710 (на ста) Wash unit (Scrub module) основ экран плавь заливб — скрещивают совместимость в старом шр стандартн влагозап плата 201B10157*

💡 Кроме точной поп груза по порм, если резвальна печат на бума, номер мод вендзому SX 3400-G тоже может использовать 622 ш конволюция спрод.

Эту можно гирь почти правдов отпростверь оригин на [TEL Direct / Support Kit eZ Part No. Check tools (доступна партнёр портал)** под ключ зашу с плаф Service Not App еще есть RERUN data sheet:**