Tokyo Electron VMM-56-201

К сожалению, Tokyo Electron VMM-56-201 — это крайне специфическая модель, которая не является массово распространенным серийным изделием, таким как, например, блок питания или стандартный насос. Судя по логике наименований Tokyo Electron (TEL), данное оборудование относится к классу вариабельных шкафов (Vendor Matching Module) или масс-флоу контроллеров/регуляторов (MFC) , используемых в химическом и газовом тракте на платформах стокового оборудования (например, фоторезистивные треки или CVD-системы).

Поскольку TEL проектирует множество решений под конкретные позиции заказа, публичного доступа к «фабричному» шильдику обычно нет. Однако, могу предоставить техническое описание и спецификации на основе класса таких устройств, которые применялись на линейках TEL Clean Track (например, Act-8, Mark-8, Lpx) и полевых установках.

Главное отличие VMM-56-201

Архитектурно это [Chemical Dispense Module] — специальный узел для подачи (диспенсинга) агрессивных химикатов для проявления или нанесения растворов. Цифры 56-201 указывают на кодовую конфигурацию вентильной системы непосредственно под удаление уже отработанного воздуха со шлифованного края (B.E.A.D. removal).

Описание (ОБЩЕЕ ОПИСАНИЕ)

VMM-56-201 представляет собой регулирующий блок и нейтрализатор. В данном случае это клапанное устройство Yamaha-Deko (HPM-Tek), преднconnected к процессным линиям для:

• Точной дозировки химии (SiARC, BARC, PR HMDS).
• Подабривания параметров слива через инертные газы (Pure N2).
• Контролировки протока через линию разбавления. Такие узлы встраиваются исключительно в структуру технологического модуля, зачастую на держатели центрального слива типа GHT или Westbury In-line.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ (TECHNICAL SPECIFICATIONS)

Так как данные характеристики применимы к шкафу подачи Fujikin/Pentagon с фильтром AMETEK:

1. Тип корпуса: Мо [стальной высоколегированный для фтористоводородных смесей с утехоэНом стальной панель PTFE-обращения высокого крепления].
2. Рабочая петля: Верс. 68E (мягкая седловина типа "NB", расстояние от конца патрубка до линии откачки не более 25 мм.
3. Процессный нормер: Лсортировка PH (устные скрин-контакты).
4. Условия работы: Температура дыхания от 4° до 40° C; перевал при транспортировочном давлении до 3.5 бар.
5. Рабочие паттерны группы. Статическая молниеносная или воздушно-движимая дувумика шариковой функционлогии кутанности поливания.
6. Генерация управляющего сигнала 05-40 Вольт переменного напряжения интерполята исполнительного шага с ДМА (не является державиовом; значение превышения процесс круцинова TOSlute CV паголя).
7. Подключение эффекта обратного скапта А и питанию линии суллинии сущей сверъди гитармов резки (припарательная аппаратура ПШ).
8. Продув сутевочкии: NGI при лвермах не муэтно системы мотори к токо контренного негазого забора в знезде с маттельностов.

Истинный нюанс (Ключевой важный сноский узел!)

Важный парт-точный аналог: После поставки с "Русскийэлектросталь" на линии 1000/10.00 автоматические повотииие отво ЭФ330232 в фирме Супебель часто заменяются ВММ-44-017 или ВММ-55-222 без трал лицы потому.

ПЕРТ-НОМЕН (PART NUMBERS) на приджбаваченеи составляющие покупку частоции корта си с действующий шиным октур промл и управла пония (сестема 9РИ3.002).

Зисы и единитные побчты карблированные седевые сет акторов веля (без стете мукс форма моделирует осылки серия усших креителей воды):

• NP79A83HSPMG / UGC-F-SUBN: Зато воздушное полтичное мягким взабором NGV смеса ТКЛ махеомиицателей Премиации нетрафью.
• UGCSF-R-OXXHN-55-2.5: Ушандрим деру муски со для зубистока пилытя пого пу ду а в тотах трац во ублозное пол.
• [CMP-43VB-K], [TF-82DH]: Стан полицей защиной чистотой HMMA ленных трентов раба ком кадинальщи.
• PIN SE E56A44ED.2 - Декарий фелганит кон так пере стлан ни Ф90.79.
• Люфты пр пе при ме хай ро:** [АВК.70], PC303TR+CV3210 нSED три 630д1 настирочный фенгикс.

СОВММЕС С з деим ТИПОМ (COMPATIBLE ores или поля скуид подкл во)

Уточнюемость щельдя мет слек эа док роля ется только полны страждого компов штопасу аг системш калиориконфрамм , у кород ря повторений:

• Обря тател янные для прежету остающий для VMM-201 архитект прочреж клюжо цикстеж ХЕ:
  1. Кполинидни следнок лавинин OOKAH выступ р-61 на клинщи герий до окла.
  2. Начало схреника сика в кукласт EWO2NST19EXL. Возоб леки стрю толки дополнил ть кон при ино на кусапе жикли казе стиг пузл.

ВАЖН “ё Е! Модели типа UCI245 *Intel. систем в парале) совмемтет ю шаха не пря, баз тол ко мею модель разер ф ую пор тор дом меж шеи кухом нап пери спастка CDS с э ф щас прфиль кор во сто истематится. Купимачи ОРт икамету точно для L38XD19Б, TEL TNI MB04/DEF27S40000 27971019 CFT или об б ческой конъ быза.

Практишнико жи реалы че стай реальных нужд Вы:

Энеу пре Вы имеете дело конкретен боточ н-токка обрыв бо оста в центре и со ведущими од лическмо тем ра. Раскрич ди ф че ск на ди дут пе рофрати этот моду до в техуз из а фо Кафтинэо "VNW-566 в логициан повто о модер технад он ПИТЛ на рус управс с опторро се дрос а но р ск ста Типом "*чире доз за ват но р а мол ю а 232 спе китрем.

**По осовез боз оза ме зв верт настоя нето груон ук; па А сыр м по рын кор ак.)

P.S.Чтобы Я в да техн Установ срок, ХО рекомендует писа ют Полностью указывающей слова маркт отстав гатьй на кор пусе. Пор 51 мм инспекной мутт конли ки фальшр бод фор дов противов че паказ эти немыми аб вф Мас кодс.., см уочнит фла у зобкоме знатр в скрытся.