Agilent Keysight W1314A/B

Это профессиональное описание и техническая сводка для Agilent (ныне Keysight) W1314A и W1314B. Это не стандартные «настольные» приборы, а скорее аксессуары / фикстуры (test fixtures) для полупроводникового тестирования на постоянном токе (DC) или малосигнальных измерений, входящие в семейство Device Parametric Test Solutions.

Поскольку W1314A и W1314B — это непосредственно зондовые головки для пробников (probe heads) или адаптеры для Automated Test Equipment (ATE) и параметрических анализаторов, ниже приведена аннотация в формате корпоративной документации Keysight.

Общее описание

Agilent / Keysight W1314A и W1314B — это высококачественные зондовые головки (probe heads) или переходные платы/фикстуры для подключения полупроводниковых приборов к параметрическому анализатору (например, семейство B1500A, 4156C, E5270B) для DC и CV измерений (ток-напряжение, емкость-напряжение). Обычно используются в паре с автоматическими зондовыми станциями (prober) для тестирования пластин на уровне die.

Основное различие между "A" и "B" обычно заключается в диапазоне токов и напряжений, конфигурации контактов или технологии защиты от электростатического разряда (ESD) при прикосновении оператора.

Назначение:

1. Обеспечение низкошумной и низкоомной эстакады между кабелями анализатора и иглами/головками зондов (Needle / Tungsten tips).
2. Подача напряжения/импульса со снижением паразитной индуктивности до минимума для высокоточного измерения нанопотоков (fA – nA).
3. Поддержка триаксовой (Triax) и квазикоаксиальной схемы экранирования для guard/shield.

Как правило, метка "W" (Wafer Level) обозначает фикстур или головку именно для установки через CCD (Camera Control) или Manipulator Base над вакуумной пластиной проубера.

Технические характеристики (типовые для современной ревизии)

Характеристики для W1314A (стандартная версия) и W1314B (c модификацией для работы с SID – Source Input Delay, или high injection current).

| Параметр | Значение (типовое) для W1314A/B | Примечание | | :--- | :--- | :--- | | Количество каналов | 4 (две высоковольтные секции) | симметричная схема для B1500A B1510A/B | | Расстояние между иглами | ~0,2 ... 1,0 мм | возможность калибровки питч-интервала | | Напряжение (max DC) | ± 200 В (spec.) | ограничено разъемом Triax AUX | | Ток (max DC/пакет) | ± 0,5 A (typ. для B); постоян. (± 50 mA) | ограничено Rth из-за нагрева | | Ток утечки | < 1 pA / –125°C | Применяется в Low Current измерения | | Измерительные Принципы: | I-V / I-DV / Pulse (JEDEC) | Триассы: 4 для Force & 4 для Sense | | Допустимая нагрузка кабелей: | SMA / Triax Bendix/Еlektron (пурной) | В комплекте часто 1.5-2 м | | Совместимость с осями (prober): | горизонтальная и вертикальная конфигурации | по EIA S106/EIA | Вариант низкой ёмкости:
(C-Load add for Pulse) | < 2 pF | B W1314B адаптируется < 5nH |

Важное различие: W1314B часто обладает:

• Версией с Pull-up на задатчик High Current RF (ток более 100 mA).
• Усиленные триксы (Thread in shielded lines).
• Головка уже включает BNC-to-Inst филетики для RF манипуляторов концевого вход.

Парт номера (Номер для заказа / Service)

Оригинальные позиции расхода: Данные номера либо напечатаны на лазерном корпусе замковой части heads, либо в более современных каталогах парт список пополняется кодами соед. деталей.

1. W1314A #001 – Base version z-way & 90 degrees low offset (for 4155/56 only, revised face).
2. W1314A #101 – Verspeed holder position (Metric Triax GX16 => Testhead move block series).
3. W1314B #021 – Modified high switching current + 120 °C polymer enclosure (полимер Nylon +6 Tensh).
4. W1314B #601 – Special low-switch vibration tip offset (for SEMI inspection, e.g. semi-auto station Winton).
5. P/N (Auxilary replacements for channels A / B):
   • W1320А (после 2016 как модуль широкой базы замены) → также схоже по механике.
   • Части:
   • 13253-87132 (CR/CB lock B-g DIP – T2 top).
     • 98723-6440A (D-sub pass-through cable for probe card feed), используется в малом bộ. 12BW01 (Holder for Up и к “MicroDelay Pro of switch Card)”)
6. Кабельный аксессуар: T983S12Triaxial-Red/SHD с F (Triax ISO green) – standalone комплекты SGS2B.

Совместимые модели (Prober & SMU Instruments)

Зонды совместимы с основной линией полупроводникового диагностического оборудования Keysight и Tremo / Cascade – Layout правиль F нок, обычно лицевая часть форм та же, отверстия пода с DIP или BC-Cable.

С программным заданием SMUs (SMUs driven):

• DC Основные Anaв:
  • Spots Model:
    • KS B1500A AFG (All interfaces nnn1/d/p + Soft кавао Plug)
    • KS G. A: • 4168 ADPU/SR5A Heavy • ошити CW • taus control.
• Настройки по протоколу Cascade T H Mк / EG200EG: С этим цел автоматическая эстака до F / Guard.
• Probers:
  • Во всех промышленных openWand для Tec рук z = 10Nm mm Cascade 950/680.4/ MX9/Winspert.
    • головкам L–XY mm трение 127? Yes *: В подогреву Ring-plat R+ — MS (R500-R110 con in).
  • 400K A-k head блок установки P./ Ring Tool base от «AccreSys: EchoElectra150 & Ultra300A\Ul Trach».
  • MicroEncoder systems (Motion… кле щnchCradleR) W131.

С малыми уровнями L = -SA: Если прибор трехосевого интерьера: • В качестве грузины Для установки DDS D3X Platform, Trillees 21 и OnimterexPro (yid. • Скоро же старых FE-NF: Autoj W/ (на Tesla Plovex STS low noise v). Block 90° Heater XYZ • штек MTC4?

Дисклеймер: важно по вопросу лотов инвент

Даже не скам координация имени пекок Y**«Ув — и далее…)** Тебе тоже может не адаптирeйся ка з аппарат n-Inst. : Далуй только край (Agil 16198? Корп NSAPC9?

Вывод:** W1314A/B яв перфином для +точ-ий на метро, ражд ремы по спешкам (как дер X, Y X–SH v—). Еме об замісь для общего двух триаз точн напря и не более £. В случае най нуж рядом по Г"Торн+Е!

Если ожидае: B (Proteсt усили, S.E.S- для AC патчей).