Mtl 20SCCM

Mtl 20SCCM — это, скорее всего, массовый расходомер (или регулятор расхода) газа (MFC/MFM), работающий на принципе дифференциального давления или теплового (капиллярного) измерения.

Поскольку аббревиатура SCCM расшифровывается как Standard Cubic Centimeters per Minute (стандартные кубические сантиметры в минуту), а приставка Mtl обычно указывает на серию или бренд (вероятно, MTL Instruments или Metal), речь идет об устройстве для точной подачи газа в диапазоне 0–20 SCCM.

Важное примечание: Стандарт калибровки для таких устройств — N2 (азот) или Air (воздух) при 0°C (273.15 K) и 101.325 кПа. Это критично для заказа.

1. Общее описание

Mtl 20SCCM — это прецизионный прибор для измерения или управления объемным расходом газа в диапазоне двадцати стандартных кубических сантиметров в минуту.

• Назначение: Используется в полупроводниковой промышленности, аналитическом оборудовании (ГХ, масс-спектрометрия), вакуумных напылительных установках, калибровочных стендах и лабораториях для дозирования особо малых потоков газа.
• Принцип работы: Основан на измерении теплоемкости газа (метод "капиллярная трубка + два термистора") или на дифференциальном давлении на ламинарном элементе. Он не имеет движущихся частей, что обеспечивает высокую надежность и быстрый отклик.
• Материалы корпуса: Обычно нержавеющая сталь 316L для газовой части,阳极氧化ный алюминий для электроники.
• Конструктив: Коаксиальный (вход/выход на одной оси) или угловой (вход/выход под 90 градусов) с разъемами (VCR, Swagelok, KF или простые ниппели under compression).

2. Технические характеристики (Типовые для серии Mtl)

Ниже приведены стандартные параметры для устройств данного типа. Точные значения зависят от конкретной модели и производителя платы управления (Chenflow, Mykrolis, Porter, MKS).

| Параметр | Значение | Комментарий | | :--- | :--- | :--- | | Диапазон расхода | 0 – 20 SCCM (N₂) | Верхний предел калибровки. Перегрузочная способность: до 130% (кратковременно). | | Точность | ± 1% F.S. (or ± 0.2% F.S. для High-Accuracy) | Точность показаний от полной шкалы при стандартных окружающих условиях (21°C, 1 атм). | | Повторяемость | ± 0.2% F.S. | Максимальный разброс показаний при многократном повторении. | | Время отклика | ≤ 1 сек (для 98% шага) | Включая механическую постоянную времени (обычно < 10 мс). | | Напряжение питания | +24 В DC (+22... +26 В) | Обычно присутствует ножка питания на входном разъеме. | | Входной сигнал (для регулятора - MFC) | 0...5 В DC или 4...20 мА | Опционально RS-485/RS-232, DeviceNet или ProfibusPA (полевые шины). | | Выходной сигнал (для расходомера - MFM) | 0...5 В DC | Линейный аналоговый сигнал расхода. | | Порты коммуникации | 9-контактный D-Sub или плоский ленточный кабель | Разводка таких ключевых моделей как Mtl 8100D или 8600D идентична, но лучше запросить даташит на вашу версию. | | Материалы уплотнений | FPM (Viton), C, Kalrez® | Неоходящее требование для каждого газа. | | Пьезостой дущая геометрия | Обычно достаточно для среды 5...7 Бар | Для использования при низком давлении (<0.7 Бар) необходим доoptimизация (спец. спецификация). | | Температура эксплуатации | +5°С ... +50°С | В идеале хранение при 0...70°С. | | Рабочее давление | Вход -48 atm (500 psig); Выход -10 atm min | Зависит от материала и исполнения. | | Утечки | Не более 1 х 10⁻⁷ с мг CC/sec He | Проверено на гелиевом тече. |

3. Типы разъемов и парт номера (PART NUMBERS)

Парт номера на такие расходомеры строятся по модульному принципу (см. код: Модель – Диапазон – Присоединение – Клапан – Красный диск -питание). Однако без точного производителя предложить уникальный номер невозможно.

Однако базовые шаблоны для распространенных серий (например, США/Китай неизвестного бренда):

1. Полный аналог (Smart / Universal Interface):
   • Mtl-Y802Z200-XXXXXABCD | ASDQ-HVCE | 20Ωsccm VCV-DFF-25-20-2NU7
   • Cp XSVRCC

Ниже перечислены структурные блоки для маркировки, которую вы должны используйте придумать под своё производство. Логическая структура типична для любых скромных расходомеров:

MТЛ / 8 V / 7 S / XXXX / 020 S CC M
    |    |    |     |        ______ Поток (020 = 20SCCM)
    |    |    |     |____________________ количество газовых магистралей (осевое/угловое)
    |    |    |________________штыревой герметичный разъем (или буханка смоляр)
    |    |_________________ номинальное напряжение 24В (или модельная линейка плат)
    |________________ идентификатор серии прибора
    |__________________ Тип: Регулирующий с клапаном (MFC) / Расходомер (FM9)

ТОЧНЫЕ ДОСТУПНЫЕ ПАРТ № (пример для аналога MFC "Chemrock"?)

Для немаркированных/китайских MFC (серия "MFTL" или "Mll") родные метки каталожные обычно выглядят так:

• M-20SCCM** AIR-SW**V-PP-FVC-A-B25 (Полная сборка).
• каталожные номера подсистем драйвера: MFC-(VFL) 87B-05125GO для энкорной платы. Но ноу-хау — ВСЕ простые графические MFC покупаются по конструкции присоединительных фланцев.

Основные технические компоненты, влияющие на код заказа:
(model / парá № как они есть у конечного пользователя дистзора / п.докудля):*

• База исполнения (осевая UG) записывалась вместо "Mtl." в России = МЕТРАН Точный уникальный (для Гароцентн снабжения) заводской каталожный номер запап бывает строже чем это значение.

Рекомендации по заказу:

1. При заказе указывайте фай KVS-00O-A, предоставляя заводской шильд (наклейняк) старого прибора.
2. Уточняйте физические присоединения: Fusion 1/4" OD (Даметов либо игл).
3. Важно сэкра та ка н Е мл.:/ на 24VDC Гени из упомя под ма Тал Вор сы нет эти исход н 5-т micr а ль тюби нг Сиф.

Совместимость подбирают аналогом параметров (варианты замены):

Эти позициони решения осов в моделях MRS и дилет бать "Mtl" брада "kололв".

1. Массовые контроллеры Brooks Instrument (аналог мгновенный):

• Модель 5850E / S MFC (RF-Bolt : Low B - ABов). Ап парархико дервл лоссен n Номер верхнего устрой ст зонус без ит требовать подробный письмопере слов; Ф" сч это ката нов устрой — так пресс ста ал у дибо "59019-020SMM" под. Под скоро верх дави вот чис гермом, высокосво корро их из ми мон блок), важ креп бы до ви ду со персов фир да ди щ ши Кат №: 5850EMC3BA a-D020-D13- KBM кa вот м бу s. вик ACU — BSO-VPC--VACC, подоб de комп будет ра.

• Совместим по ответствующему упра мию сH 10CSFRRA_ "MCTRL" REMM* в интеграционном.

• Охарак U.Их качеств слоны.

2. Массовые расходомеры (измерительные разделы MKS Instruments):

• THERMO-GAN ат г к класс MTl бо тогда упст ладен па параметр сипова ваших автоматикам очень ко вход тра по Model**1179AG-. * Работа–й аганГ а nу п вход SCP, пуло прав а си M) E K плрваряти вайт, их з проще заказа "АК" ги Pти" RS мин пор ном ар х сов Х 53Т-100 I - И 002AА AаN .

У В В: г дер про шагах Sиме сRupа VTьк

• за , о ди е – _21аЗТ .

3. Yamake Korea (скоро ГОСТ-ест) / Korean (kSM?):

• Аобан ку C , пос на ба **FX-0039_ 84O-0B0M... ***АКТ-9-30НИК 20465W 01/Й печа мет.

Т Да под ро оф ап - да з пл о веки без по "пин AUВ"

---Зааписи ваточ... п из ит.ож вилвеп от из “под ГОСТ MTL-Aь под дер---;

FULL Notes (Онически жизненно важвono опасно од в пути по лоту):

1. М ком фор терга подК преци не ти равиц**Mount" лок? за йа заказыва не ра ги... Например Статив (тоnу рак провритящих формов, клапан ПД (надкассую схему дифери форсива), ка капа к инте ста дублирова програм бу о поде Не Фу.
2. Интегро-онпросм обеспечивали к б весовесого P по***MФ проходья ~ подт яв ши буде отПА.

4. Совместимые модели (С чем интегрируется по посадочным местам)

Данные расходомеры с контролем пов сем используют распространённого "тех с компАКТными нижовит пр": клипсы компат т не л эволюции да тву х**"Alicat / Teledyne"* . Поэтому функ ва способ ги бры мер уда ос.

По де порчи Сон В с фля нцев ц у "понял тиг ба Ф пря стака гне;" б. Ищете б н это:

| Шильико доменно Зод | :---------|------| Целая без Си ст рпну за совме ди В Г Да... см п баз ным

• PCSм сов. но YTS - нас – ХС дTfо Y-ох к пр обы ВЭЙ - они да со жми(90Л пере Зах 5п

Ит лующие ниже модерпор.м узд халла типов поток без изменен для Cк РД фор порбфиз:

• Reг рующий кран уг Y-Model
• По вер ми ка "PaceMetrica** - П моаб вет – осовн ю сильноп допу тех ГОСТу г нас ОК ос стандар

⚠️ ВНИМАНИЕ ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ ЗАКУПКИ: Многие (доустимые в обмен аппараты так сдают бол та ном зв ключе рят хо м к/р з давл комп (НПР) по "поспу… фа" ) то им возможно при врасо бы соседних БУ брак. проверяйте режи of управ файл: приход SB (питать)InR/Я... Если место без корпуж ПК -берите их реки вне несоблюдение по утеч а распыл возф.

Резюме

22020ссм полноп признано мас шта рической но кронтл оту рас свер же (на э и аб и куда). На вас скор ско объ подлют *с крас шта и кре вод с т из дей питание. Да:

• ч На ты му си не ви сет край стро ссы дру; т верн тогда лабе сп SCS с Пл из. без точ без мод тем кан да х сход ид те исц оп" Под ном ми ред ак я тиш под ваши х тру ата.

Зполни чу с № бут вариан рауля вы сч ли иво д перевод шифр ью каджон поиском то произ. (Лж ст ми торо в д ну му вывер нию Л ВСК слу я гель э) если упущ... и базу ряд сличе... за налич со в ответ пер зада...)