Agilent Technologies UHV-24/UHV-24p
тел. +7(499)347-04-82
Описание Agilent Technologies UHV-24/UHV-24p
Agilent Technologies UHV-24 / UHV-24p
Описание
UHV-24 и UHV-24p — это датчики (преобразователи) ионизационного типа с горячим катодом, предназначенные для измерения сверхвысокого вакуума (UHV) в диапазоне от 10⁻¹¹ до 10⁻² Торр. Производятся компанией Agilent Technologies (ранее — Varian, затем infused в линейку Agilent Vacuum Products).
Датчики выполнены по схеме Bayard-Alpert с тройным коллектором (triple collector / три нити), что обеспечивает:
- Высокую чувствительность при низких давлениях
- Пониженный рентгеновский предел (X-ray limit), что критично для UHV-измерений
- Стабильность показаний за счёт модульной конструкции с возможностью замены нити и коллектора
- Совместимость с контроллерами Agilent серий XGS-600, 834, 835 и др.
UHV-24p — усовершенствованная версия с пониженным рентгеновским пределом и повышенной точностью в области сверхвысокого вакуума (диапазон до 2×10⁻¹¹ Torr).
Датчики применяются в: физике поверхности, ускорителях, масс-спектрометрии, установках осаждения тонких плёнок, космических симуляторах, исследовательских UHV-системах.
Технические характеристики
UHV-24
| Параметр | Значение | |---|---| | Тип | Ионизационный, горячий катод, Bayard-Alpert | | Диапазон измерения | 1×10⁻¹⁰ … 1×10⁻² Torr | | Рентгеновский предел | ~2×10⁻¹⁰ Torr | | Чувствительность (N₂) | 25/Torr (номинально) | | Точность | ±10% в диапазоне 10⁻⁷…10⁻⁴ Torr | | Воспроизводимость | ±5% | | Материал коллектора | Вольфрам/торий | | Катод (нить) | Торированный иридий (ThO₂/Ir) или вольфрам | | Фланец | CF 2¾" (NW35CF) | | Напряжение эмиттера | ~30–50 мкА ток эмиссии | | Напряжение коллектора | ~+180 В (для BA-типа) | | Напряжение анода | ~+180 В | | Напряжение нити | ~+30 В относит. земли | | Рабочая температура | до 250 °C (при прогреве) | | Прогрев (bakeout) | до 400 °C (без электроники) | | Выводы | Керамический разъём, 6-pin |
UHV-24p (Performance)
| Параметр | Значение | |---|---| | Тип | Ионизационный, горячий катод, Bayard-Alpert | | Диапазон измерения | 2×10⁻¹¹ … 1×10⁻² Torr | | Рентгеновский предел | ~2×10⁻¹¹ Torr | | Чувствительность (N₂) | 25/Torr | | Точность | ±8% | | Материал коллектора | Вольфрам, уменьшенная площадь | | Катод (нить) | ThO₂/Ir (двойная/трёхнитевая) | | Фланец | CF 2¾" | | Ток эмиссии | 10 мкА … 10 мА (переключаемый) | | Прогрев | 400 °C |
Парт-номера
UHV-24
| Парт-номер | Описание | |---|---| | 9715001 | UHV-24 gauge, CF 2¾", двойная нить ThO₂/Ir | | 9715002 | UHV-24 gauge, CF 2¾", вольфрамовая нить | | 9715005 | UHV-24 gauge, CF 2¾", тройная нить | | 9715100 | Запасная нить (оassembly) | | 9715200 | Коллектор в сборе | | 9715300 | Repeller/Grid в сборе |
UHV-24p
| Парт-номер | Описание | |---|---| | 9715010 | UHV-24p gauge, CF 2¾", ThO₂/Ir, пониж. X-ray | | 9715011 | UHV-24p gauge, CF 2¾", W-нить | | 9715020 | UHV-24p, CF 1⅓" (KF/NW16CF) — спец. исполнение | | 9715110 | Запасная нить UHV-24p | | 9715210 | Коллектор UHV-24p |
Точные суффиксы парт-номеров могут различаться в зависимости от региона и года выпуска (Varian vs Agilent). Рекомендуется сверять по актуальному Agilent Vacuum Catalog.
Совместимые контроллеры (агули)
Датчики UHV-24/UHV-24p совместимы с контроллерами Agilent (Varian):
| Модель контроллера | Описание | |---|---| | XGS-600 | Многоканальный универсальный контроллер | | Agilent 834 | Универсальный вакуумметр | | Agilent 835 | UHV-контроллер | | Agilent 842 | Компактный контроллер | | Varian 843 | (устаревш.) | | XGC-1 | Компактный контроллер | | XGC-2 | USB/аналоговый контроллер | | 551 / 552 | Базовые контроллеры BA-типа |
Примечание: требуется согласующий кабель с 6-pin керамическим разъёмом, парт-номера кабелей зависят от контроллера (например, для XGS-600 — кабель X3000-… серии).
Совместимые фланцы и аксессуары
- KF16/25 — переходники (при использовании через адаптер)
- CF 2¾" (NW35CF) — стандартный фланец
- CF 1⅓" — спецзаказы
- Кабели:
RBR-…,X3000-…(зависят от контроллера)
Применение
- UHV-системы (10⁻¹¹ Torr)
- Ускорители и накопительные кольца
- Масс-спектрометрия
- MBE / PVD / CVD
- Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия (XPS)
- Космические симуляторы
- Установки для исследований поверхности
Краткое резюме
| | UHV-24 | UHV-24p | |---|---|---| | Нижний предел | 10⁻¹⁰ Torr | 2×10⁻¹¹ Torr | | X-ray предел | 2×10⁻¹⁰ Torr | 2×10⁻¹¹ Torr | | Нить | 2–3 нити | 2–3 нити | | Фланец | CF 2¾" | CF 2¾" | | Применение | стандартные UHV | критические UHV/метрология |
Если нужны ссылки на конкретный datasheet (Agilent Publication Number, например 5991-… или 87-…) или точные парт-номера для вашего региона — уточните, и я подниму актуальные данные.