Agilent Technologies TV81-M — Турбомолекулярный насос

Описание

Agilent Technologies TV81-M — это компактный турбомолекулярный насос (ТМН) средней производительности, входящий в серию Agilent TV (Turbo-V). Модель выполнена в магнитно-левитационной (M) конфигурации с гибридными магнитными подшипниками, что обеспечивает бесконтактную работу ротора, минимальную вибрацию, низкий уровень шума и отсутствие необходимости в смазке в области высокого вакуума.

Насос предназначен для создания и поддержания высокого и сверхвысокого вакуума (до 10⁻⁸–10⁻¹⁰ мбар в зависимости от форвакуума) в научных, аналитических и промышленных установках. Типичные применения:

• Масс-спектрометрия (LC-MS, GC-MS, ICP-MS)
• Электронная микроскопия (SEM, TEM)
• Ускорители и ионные имплантеры
• Установки физического осаждения (PVD, CVD, напыление)
• Научно-исследовательские сверхвысоковакуумные системы
• Полупроводниковое производство

Ключевые особенности:

• Магнитный подвес ротора (5 осей) — бесконтактная работа
• Высокая компрессия по водороду (благодаря многоступенчатой конструкции)
• Встроенная электроника управления и датчик температуры
• Возможность монтажа в любом положении (кроме строго горизонтального/вертикального ограничений — до ±90° в большинстве конфигураций)
• Низкое энергопотребление и длительный межсервисный интервал

Технические характеристики

| Параметр | Значение | |---|---| | Тип насоса | Турбомолекулярный, гибридный (магнитный подвес) | | Скорость откачки по N₂ | ~ 75–80 л/с | | Скорость откачки по He | ~ 75 л/с | | Скорость откачки по H₂ | ~ 55–60 л/с | | Максимальная компрессия (N₂) | > 10⁹ | | Максимальная компрессия (H₂) | ~ 5×10⁴ – 10⁵ | | Базовая частота вращения | ~ 60 000 об/мин (зависит от версии) | | Предельное остаточное давление | < 10⁻⁸ мбар (после прогрева) | | Входной фланец | DN 63 ISO-K / CF 4.5" (варианты) | | Выходной фланец | DN 25 ISO-KF / KF 25 | | Охлаждение | Воздушное (принудительное) или водяное | | Напряжение питания контроллера | 24 – 48 В DC (через внешний блок) | | Интерфейс | RS-232 / RS-485 / аналоговый | | Вес | ~ 6–8 кг | | Уровень шума | < 50 дБ | | Рабочее положение | Любое (с учётом фланцев) |

Точные цифры зависят от конкретной ревизии и фланцевой конфигурации.

Парт-номера (Part Numbers)

Ниже — основные артикулы Agilent для TV81-M и сопутствующих компонентов. Точный номер зависит от фланцев и ревизии:

| Парт-номер | Описание | |---|---| | TV81M00001 | TV81-M, вход CF 4.5", выход KF25 | | TV81M00002 | TV81-M, вход DN63 ISO-K, выход KF25 | | TV81M00003 | TV81-M с интегрированным контроллером | | TV81M00004 | TV81-M для масс-спектрометров (OEM-версия) | | 9699345 | Контроллер/блок питания для серии TV | | 9699165 | Кабель питания и связи | | 9699215 | Вентилятор охлаждения (воздушный) | | 9699301 | Комплект водяного охлаждения | | 9699095 | Ремкомплект (подшипниковый узел — не требуется для M-серии) | | FG-7084 | Фланец-адаптер | | 9699715 | Датчик температуры | | 85404002 | Кабель RS-232 |

Важно: перед заказом сверьте парт-номер по официальному каталогу Agilent Vacuum Products или у дистрибьютора — артикулы меняются между ревизиями.

Совместимые модели контроллеров и систем

Agilent TV81-M работает с контроллерами и аксессуарами серии:

| Совместимое устройство | Назначение | |---|---| | Agilent Turbo-V 81-AG Controller | Штатный контроллер | | Agilent TSC (Turbo Smart Controller) | Цифровое управление (некоторые версии) | | Turbo-V 81 series | Семейство контроллеров | | XGS-600 / Active Gauge | Датчики вакуума и интеграция | | Agilent 5975/5977 MSD | Масс-спектрометры (OEM) | | Agilent 7000/7010 ICP-MS | Применение в качестве форвакуумной ступени | | Varian/Agilent серия TV70, TV80 | Предыдущее поколение (аналоги) | | Agilent IDP-3 / IDP-7 / IDP-15 | Форвакуумные мембранные насосы-совместимки | | Agilent DS 102 / DS 202 | Форвакуумные пластинчато-роторные насосы | | Agilent TriScroll 300 / 600 | Спиральные безмасляные форвакуумные насосы | | Agilent SH-110, Cryo-Torr | Комбинации с крионасосами |

Комплектация и рекомендации

Типичная связка:

[Камера]  →  TV81-M  →  KF25  →  Форвакуумный насос (IDP-7 / TriScroll)
                                →  Контроллер Turbo-V 81
                                →  Вентилятор/Вода для охлаждения
                                →  Кабель RS-232 / USB

Ключевые требования:

• Обязательный форвакуум до < 0.1 мбар перед запуском
• Плавный подъём оборотов (контроллер сам задаёт время)
• При использовании в СВВ — прогрев камеры и фланцев
• Магнитный подвес не требует обслуживания подшипников, но требует корректного питания

Если вам нужны уточнённые парт-номера под конкретную конфигурацию (CF4.5, ISO-K, водяное охлаждение) или схема подключения к масс-спектрометру, скажите — подготовлю расширенную таблицу.