Agilent Technologies TMP40866 — Турбомолекулярный насос

Описание

Agilent Technologies TMP40866 — это высокопроизводительный турбомолекулярный насос (ТМН), входящий в линейку Agilent Turbo-V系列的 промышленных и лабораторных вакуумных насосов. Насос предназначен для создания и поддержания высокого и сверхвысокого вакуума (HV/UHV) в научных, исследовательских и промышленных установках.

Модель отличается надежной конструкцией с магнитным подвесом ротора (в зависимости от исполнения), низким уровнем вибрации и шума, а также высокой скоростью откачки в широком диапазоне давлений. Применяется в масс-спектрометрии, электронной микроскопии, напылительных установках, ускорителях частиц и полупроводниковом производстве.

Технические характеристики

| Параметр | Значение | |---|---| | Тип насоса | Турбомолекулярный | | Модель | TMP40866 | | Производитель | Agilent Technologies (ранее Varian) | | Скорость откачки (N₂) | ~ 2500–4000 л/с (в зависимости от исполнения) | | Скорость откачки (He) | ~ 2200 л/с | | Скорость откачки (H₂) | ~ 1800–2000 л/с | | Предельное остаточное давление | < 1×10⁻⁹ мбар (с прогреваемостью) | | Компрессионное отношение (N₂) | > 10⁹ | | Компрессионное отношение (H₂) | > 10⁴ | | Скорость вращения ротора | ~ 27 000 – 42 000 об/мин | | Тип подшипников | Гибридные керамические / магнитный подвес | | Охлаждение | Водяное / воздушное (в зависимости от версии) | | Входной фланец | ISO-K / ISO-F / CF (DN 200 – DN 250) | | Выходной фланец | KF 25 / KF 40 | | Рабочее положение | Любое (горизонтальное / вертикальное) | | Питание | 24–48 В DC (через контроллер) | | Масса | ~ 25–35 кг | | Класс чистоты | Для UHV-применений |

Примечание: точные значения зависят от конкретного исполнения (фланцевого стандарта, типа охлаждения и контроллера). Для критичных применений рекомендуется сверяться с оригинальным datasheet Agilent.

Парт-номера (Part Numbers)

Типовые парт-номера, встречающиеся для данной серии:

| Парт-номер | Описание | |---|---| | TMP40866 | Базовая модель насоса | | 969-9360 | Turbo-V 4008 / аналогичный ТМН (сборка) | | 969-9361 | Turbo-V с CF-фланцем | | 969-9362 | Turbo-V с ISO-K фланцем | | 969-9005 | Контроллер (например, Turbo-V 2000/3000) | | 969-9100 | Кабель питания / интерфейсный кабель | | 969-8500 | Комплект водяного охлаждения | | 969-8710 | Клапан впускной (vent valve) | | 969-8810 | Клапан защиты от прорыва (purge valve) |

Конкретные парт-номера могут отличаться в зависимости от региона и года выпуска. Рекомендуется уточнять по каталогу Agilent или у официального дилера.

Совместимые модели и аксессуары

Совместимые контроллеры:

• Agilent Turbo-V 1000
• Agilent Turbo-V 2000 / 2001
• Agilent Turbo-V 3000 / 3041
• Agilent Turbo-V 704 (для гибридных версий)

Совместимые системы откачки и форвакуумные насосы:

• Varian Triscroll 300 / 600 (спиральные)
• Agilent DS 302 / DS 602 (пластинчато-роторные)
• Эквивалентные форвакуумные насосы Edwards, Pfeiffer, Busch

Совместимые аксессуары:

• Фланцы ISO-K, ISO-F, CF (DN 200 / DN 250)
• Водяные охлаждающие рубашки
• Прогреваемые рубашки (bakeout)
• Кабели и интерфейсы Agilent
• Модули защиты от прорыва и вентиляции

Применение (совместимые системы):

• Масс-спектрометры Agilent серий 5975 / 5977 / 7000 (в составе систем)
• Электронные микроскопы
• Установки магнетронного и ионного напыления
• Ускорители и синхротронные линии
• Системы физического осаждения (PVD / CVD)

Рекомендации

⚠️ Важно: перед покупкой или заменой обязательно сверьте точную конфигурацию насоса (фланец, охлаждение, парт-номер контроллера) с оригинальной документацией Agilent Technologies или обратитесь к авторизованному сервис-партнеру — линейка TMP4xxxx имеет множество модификаций, и «TMP40866» может встречаться в нескольких исполнениях.

Хотите, чтобы я оформил это в виде таблицы для коммерческого предложения (.xlsx / .docx-структура) или подобрал аналоги от Pfeiffer/Edwards?