Agilent Technologies PVG-500

Описание

PVG-500 — это высоковакуумный ионный насос с сублимацией геттера (TSP, Titanium Sublimation Pump) производства Agilent Technologies (ранее Varian Vacuum Technologies). Устройство представляет собой комбинированную систему откачки, объединяющую титановый сублимационный насос с элементом ионного насоса, и предназначено для создания и поддержания сверхвысокого вакуума (UHV) в диапазоне 10⁻⁸ – 10⁻¹¹ мбар.

Принцип действия основан на сублимации титана с нагреваемой титан-молибденовой нити (филамента) и осаждении активного титанового слоя на охлаждаемых поверхностях ионного насоса. Титановый слой химически связывает активные газы (O₂, N₂, H₂, CO, H₂O, CO₂), а ионный насос обеспечивает откачку инертных газов (Ar, He, CH₄) и водорода. Такая комбинация обеспечивает высокую скорость откачки при относительно компактных размерах.

PVG-500 широко применяется в физике поверхностей, электронной микроскопии, масс-спектрометрии, ускорителях частиц и установках для напыления тонких плёнок.

Технические характеристики

| Параметр | Значение | |---|---| | Тип насоса | Комбинированный TSP + ионный (диодный) | | Номинальная скорость откачки (TSP, N₂) | ~500 л/с | | Скорость откачки ионного насоса (воздух) | ~55–60 л/с | | Диапазон рабочего давления | 10⁻⁴ – 10⁻¹¹ мбар | | Предельное давление | < 10⁻¹⁰ мбар (после прогрева) | | Входной фланец | CF (ConFlat) 6" (DN 100 CF) / опционально другие | | Материал камеры | Нержавеющая сталь 304/316L | | Число филаментов TSP | 3 (сменный картридж) | | Ток сублимации | ~45–50 А (кратковременно) | | Напряжение ионного насоса | ~5–7 кВ (высоковольтный элемент) | | Охлаждение | Естественное (воздушное), опционально водяное | | Прогрев | Встроенные нагреватели / лента | | Уплотнение | Металлическое (CF) | | Рабочая температура окружающей среды | 5–40 °C |

Примечание: точные значения скорости откачки и предельного давления зависят от конфигурации (тип фланца, наличие прогрева, модель блока питания). Рекомендуется сверять по актуальному datasheet Agilent.

Парт-номера (P/N)

Типовые парт-номера семейства PVG-500 (проверять по каталогу Agilent/Varian — возможны ревизии):

• PVG-500 — базовый насос в сборе
• 9699501 — PVG-500 с фланцем CF 6" (типовой вариант)
• 9699502 — варианты исполнения с другим фланцем/опциями
• Ионный насос (элемент): серия VacIon Plus 55 — P/N 9190745 и аналоги
• Картридж TSP (Ti-Mo филаменты): P/N 9160050 / 9160051 (упаковки по 3 шт.)
• Блок питания и контроллер: серия Ion Pump Controller (например, 9290000 для VacIon) и TSP-контроллер TSP Controller 9290010 / аналог

⚠️ Парт-номера и комплектация часто менялись при переходе Varian → Agilent. Для заказа обязательно уточняйте актуальный P/N в Agilent Vacuum Products или у дистрибьютора.

Совместимые модели и компоненты

• Ионные насосы Agilent VacIon Plus (55, 75, 150, 300 л/с) — используются как основа комбинированного PVG-500
• Контроллеры ионных насосов Agilent: серии 304 FS, 404 FS, 504 FS, 704 FS (поддержка VacIon)
• TSP-контроллеры Agilent/Varian: модели для управления сублимацией (3-филаментные)
• Фланцы CF (ConFlat) — совместимы со стандартной UHV-арматурой: задвижки (VAT, Agilent, серия Gate Valve 01/10), вакуумметры (бaйард-альпертовские Agilent FRG/IMG), тройники, переходники
• Совместимые системы прогрева: нагревательные ленты/рубашки для CF-фланцев DN 100
• Совместим с UHV-камерами стандарта CF/DN (6", 8") — типично используется в связке с Turbo-V насосами Agilent на форвакууме

Рекомендация: перед заказом/эксплуатацией сверьтесь с официальным datasheet Agilent «PVG-500 Titanium Sublimation/Ion Pump» и Manual P/N — спецификации могут отличаться по ревизиям. Могу уточнить характеристики конкретной конфигурации (фланец, блок питания), если вы назовёте точный P/N.