Agilent Technologies E5270B — Precision IV Analyzer / Semiconductor Parameter Analyzer

Описание

Agilent E5270B (позже выпускался как Keysight E5270B) — это модульный прецизионный анализатор вольт-амперных характеристик (IV-анализатор), входящий в серию параллельных параметрических анализаторов Agilent/Keysight E5270 Series. Прибор предназначен для измерения статических и импульсных характеристик полупроводниковых приборов: транзисторов, диодов, светодиодов, лазеров, МЭМС, датчиков, устройств памяти и силовой электроники, как на пластине (on-wafer), так и в корпусе.

E5270B построен по модульному принципу: в основной корпус (Mainframe) устанавливаются сменные измерительные модули (Source/Monitor Units — SMU), что позволяет конфигурировать прибор под конкретные задачи — от маломощных измерений CMOS до силовых приборов с токами до 1 А и напряжениями до 200 В.

Основные области применения:

• Измерение характеристик полупроводниковых приборов (Id-Vg, Id-Vd, Gummel plot, breakdown и т.д.);
• Испытания силовых и ВЧ приборов;
• Тестирование LED, лазерных диодов, фотодетекторов;
• Измерения на пластине с probe station;
• Characterization новых материалов и устройств (SiC, GaN, органическая электроника).

Технические характеристики (Mainframe E5270B)

Общие: | Параметр | Значение | |---|---| | Тип | Модульный прецизионный IV-анализатор | | Число слотов для модулей | 8 | | Встроенный источник питания | 100–240 В AC, 50/60 Гц | | Интерфейсы | GPIB (IEEE-488), позже Ethernet/LAN (опция) | | Управление | ICP (Instrument Control Program) / EasyEXPERT (на базе ПК) | | Дисплей | Внешний ПК (программное управление) | | Разрешение измерения | до 1 fA (в зависимости от модуля) | | Количество измерений за раз | до 8 каналов одновременно |

SMU модули (основные варианты): | Модуль | Диапазон напряжения | Диапазон тока | Разрешение | Применение | |---|---|---|---|---| | E5280B HPSMU | ±200 В | ±1 А | 10 fA | Силовые приборы | | E5281B HRSMU | ±100 В | ±100 мА | 1 fA | Общее назначение, ВЧ-тест | | E5285B MCSMU | ±100 В | ±100 мА | 10 aA (минимально достижимое) | Сверхнизкие токи | | E5287A HCSMU | ±100 В | ±1 А (импульс) | 10 fA | Высокотоковые, LED | | E5288A АSMU | Маломощный | — | — | Atto-level currents |

Точность (типовые значения для E5281B):

• Разрешение по току: 1 fA – 100 мА (в зависимости от диапазона);
• Разрешение по напряжению: 40 мкВ – 100 В;
• Точность по напряжению: ±0.01% + 200 мкВ;
• Точность по току: ±0.05% + 1 пА (в нижних диапазонах существенно лучше);
• Время интегрирования: программируемое.

Парт-номера (Part Numbers / Ordering Options)

Основной корпус:

• E5270B — Mainframe, 8 слотов (базовый);
• E5270B-100 — без опций питания;
• E5270B-300 — с pre-installed модулями (состав по опциям).

Измерительные модули (совместимые с корпусом E5270B): | Парт-номер | Описание | |---|---| | E5280B | High Power SMU (HPSMU), ±200 V / ±1 A | | E5281B | High Resolution SMU (HRSMU), ±100 V / ±100 mA, 1 fA | | E5282A/B | High Voltage SMU варианты | | E5285B | Medium Current SMU / низкоточный (MCSMU) | | E5287A | High Current SMU (HCSMU), pulsed to 1 A | | E5288A | Atto-level SMU | | E5289A/B | V-модуль, быстрый SMU | | E5290A | High-Voltage SMU |

Аксессуары:

• Кабели: 16433A/B, 16434A/B, 16441A, 4155-65001 и др.;
• Test fixtures: 16442A, 16443A, 16444A;
• Probe-станции: совместимые с Cascade, CascadeMicrotech, Signatone, Karl Suss, PMK.

Совместимые модели (платформа, приборы, ПО, аксессуары)

Серия Agilent/Keysight E5270:

• E5270A (предшественник), E5270B — прямой замен;
• E5260A / E5262A / E5263A — схожие по архитектуре приборы;
• E5272A / E5273A — мультиканальные системы (related);
• B1500A — современный преемник (частично);
• B1505A — для силовой электроники.

Совместимые модули: см. список выше (E5280B, E5281B, E5285B, E5287A, E5288A и т.д.) — модули тех же парт-номеров работают в корпусах E5270A, E5270B, E5260A, E5262A, E5263A.

ПО и совместимость:

• Agilent EasyEXPERT (на ПК через GPIB/LAN) — основное ПО;
• Agilent ICP 9x / 10x — устаревшее управляющее ПО;
• Keysight EasyEXPERT (современный вариант) — совместим с E5270B через адаптеры;
• Commander / IC-CAP (для параметрического анализа);
• Сторонние драйверы: LabVIEW, Python через GPIB/VISA (PyVISA).

Аналоги/замена в линейке: | Позиция | Замена | |---|---| | E5270B → | Keysight B1500A (полный преемник) | | Для силовой электроники → | Keysight B1505A | | Для маломощных fA-измерений → | B1500A с B1530A / B1517A |

Краткое резюме

• E5270B — модульный IV-анализатор с 8 слотами, прецизионное измерение токов/напряжений на полупроводниковых приборах.
• Совместим с 5–10 SMU-модулями серии E5280B / E5281B / E5285B / E5287A / E5288A и др.
• Управление через ПК (GPIB / LAN), современный эквивалент — Keysight B1500A.
• Используется в лабораториях characterization, на производстве кремниевых пластин, в научных исследованиях.

Если нужно — могу составить таблицу характеристик по конкретному модулю, набор парт-номеров под конкретный тип приборов (например, MOSFET/HBT/LED) или список совместимых probe station и кабелей.