Agilent Technologies 4155C / 4156C — Прецизионные анализаторы полупроводниковых приборов

Описание

Agilent 4155C и 4156C — это прецизионные анализаторы параметров полупроводниковых приборов (Semiconductor Parameter Analyzers) с высокой точностью и низким уровнем шума, предназначенные для характеризации широкого спектра электронных компонентов на пластине (on-wafer) и в корпусе.

Приборы семейства 415x от Agilent (ранее HP) являются отраслевым стандартом для измерений ВАХ, параметрической характеризации и анализа отказов (failure analysis) полупроводниковых устройств.

Ключевые особенности:

• Высокая точность и разрешение: до 1 фА (fA) разрешения по току, до 1 мкВ по напряжению.
• Широкий динамический диапазон: от фА до 1 А по току.
• Модульная архитектура: сменные модули SMU (Source/Monitor Unit), VSU (Voltage Source Unit), VMU (Voltage Monitor Unit), PGU (Pulse Generator Unit) и др.
• Функции импульсных измерений (PIV): поддержка квазиимпульсных измерений для исключения эффектов саморазогрева.
• Полуавтоматизация: поддержка работы с пробниками (probe stations) и анализаторами переключателей.
• Встроенный ПК: работает под управлением ОС Windows с ПО Agilent Interactive Characterization Software (ICS) / Desktop ICP.
• Графический интерфейс: встроенный дисплей/интерфейс, поддержка внешнего монитора.

Технические характеристики

| Параметр | Agilent 4155C | Agilent 4156C | |---|---|---| | Назначение | 4 SMU + 2 VSU | 4 SMU + 2 VSU (расширенная конфигурация) | | Максимум SMU | 4 | 4 | | Максимум VSU | 2 (опционально) | 2 (опционально) | | Диапазон напряжения SMU | ±200 В | ±200 В | | Диапазон тока SMU | ±100 мА (до 1 A с эмуляцией) | ±100 мА (до 1 A с эмуляцией) | | Разрешение по току | 1 фА (мин.) | 1 фА (мин.) | | Разрешение по напряжению | 1 мкВ (мин.) | 1 мкВ (мин.) | | Точность по напряжению | ±0.02% + смещение | ±0.02% + смещение | | Точность по току | ±0.05% + смещение | ±0.05% + смещение | | Интерфейс | GPIB, параллельный, USB (для 4155C) | GPIB, LAN/Dell PC | | Встроенный ПК | Да | Внешний (модель 41501A относится к 4155 комплексам) | | Дисплей | Цветной (LCD) | Цветной (LCD) внешний/встроенный | | ОС | Windows (в 4155C — на базе ПК) | Windows 2000/XP | | Питание | 100–240 В, 50/60 Гц | 100–240 В, 50/60 Гц | | Габариты (SMU/мейнфрейм) | ~ 425 × 400 × 195 мм | ~ аналогично | | Вес | ~15–20 кг (мейнфрейм) | ~20+ кг |

Модули (Device Test Units / Plug-in Units)

Для приборов применяются модули (единицы):

• 41501A / 41501B — расширительный основной блок (SMU Expander / Multiplexer)
• SMU (Source/Monitor Unit): 41521A (2 кВ/200 мА пульсовая), 41522A и др.
• VSU (Voltage Source Unit): для запитки затворов/борта
• VMU (Voltage Monitor Unit): параллельный мониторинг напряжения
• PGU (Pulse Generator Unit): для импульсных режимов (PIV/Pulsed IV) — модели 41521A, 41522A
• VS (Voltage Source для полевого питания)
• RSU (Resistance/DC Parametric Unit)

Парт-номера (типичные опции и аксессуары)

Мейнфрейм:

• 4155C — основной блок параметрического анализатора Agilent
• 4156C — основной блок
• 41501A / 41501B — расширительные блоки (Multi-channel)
• 16493A — кабель интерфейсный
• 16494A — комплект кабелей triax

Опции мейнфрейма:

• 4155C-001 — набор по умолчанию
• 4155C-004 — анализатор 4-канальный
• 4155C-006 — вход встроенного ПК/Windows
• 4155C-007 — дополнительная память
• 4155C-008 — ...

Модули SMU/PGU (для 4155C/4156C в составе 41501):

• 41521A — PGU 2 луча (pulse generator/smu комбинированный)
• 41522A — PGU/ SMU высокой мощности (100 В / 200 мА импульс)
• 41522A Option 001 / 002 — варианты
• 4mm Coaxial triax Connector — разъемы
• 16495-60003 — кабель триаксиальный 1 м
• 16494/16495 — триаксиальные кабели для мультиплексоров

Комплекты:

• 4155C Upgrade для 41501B расширения
• CS-60xx software и др.

Позднее обозначение:

• После приобретения Agilent Technologies подразделения — применимые обозначения были выведены в Keysight Technologies: B1500A (эволюционные модели), B1505A (~замена 4155C/4156C).

Совместимые модели и аксессуары

Модели параллельного ряда и расширения:

• HP 4142B — модульный SMU system (предшественник)
• HP 4155A / 4156A — предыдущие версии (< C)
• HP 4155B / 4156B — предыдущие
• 41501A / 41501B — расширительные блоки — совместимы и с 4155A/B и с 4155C
• Dell или HP PC (встроенный) — на некоторых версиях ставился Proliant/Pentium ПК в корпусе

Совместимые пробники (Probe Stations):

• Cascade, Sigma, Wentworth, Microplix — с AttoCal (Positioner/Prober)
• Пробники "Triax/EtherCon"

Программное обеспечение:

• Interactive Characterization Software (ICS) (с расширениями)
• Agilent Desktop ICP
• Keysight BeeCaves / Proteus/Gnu Cap for Device (сторонние)
• Программы SUMMIT/Cascade, PSI, Aurora, Probe6
• Совместим с ключевыми C-моделями программ:J-1-7 "Interactive Characterization Software" для modelers

Измерительное оборудование смежное:

• Agilent 4284/4285 LCR для CV-измерений
• Agilent E4980A / E4990A — Capacitance
• Agilent 33120 / 33xx Function Generator для внешних сигналов (через SCU)
• 41501 Support: Connection from external equipment.

Дополнительно

Начиная с ~2010-х Agilent выделила подразделение в Keysight Technologies, и прямые предельные замены/налетчики линейки: B1500A, B1505A, B2900A/B, E5071 (AC) .

Краткая оглаmозность ориг. форма: развернутое Agilent 4155C User's Guide / Service Manual, а также на моделях без 415×C, включая нотации парт номеров формируются опционально через ГП расширения, кабели (16493, 16494, 16495 xx кольцевых-оптические/gpib). Указывать точную формулу зависит от конфигурации.

Если хотите уточнение по какому-то пункту (eg. detailed specs of 41501B or code-парт номеров сверх расширенной подборка), добавьте ул. материал приведён намеренно — поскольку разные согласованные опций по подгруппам. Экспорт часто рассмотрен спросить викторинного идентификатора 344 85000-purchase/S.I. for details.